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製作実績品

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NEG
無酸素Pd/Ti蒸着非蒸発型ゲッター NEG ポンプ NEGLAZE® (ネグレーズ®)
Oxygen-free Pd/Ti deposited ICF zero-length NEG pump

ドライポンプ、ターボ分子ポンプなどと組み合わせることで、
10
-8台以下の超高真空を実現できる気体溜め込み式の真空ポンプ
ベローズ
J-PARC 3GeV シンクトロン 補正四極電磁石用チタン製成形ベローズ
Titanium Bellows for correction quadrupole magnets of the 3GeV RCS at J-PARC

RFコンタクト機能を有するチタン製成形ベローズ
J-PARC 3GeV シンクトロン → MLFビームライン
大ビーム位置検出器 (Big-BPM)
Big-beam position monitor for the 3-GeV rapid-cycling synchrotron beamline at J-PARC

600mmサイズ 純チタン1種製 成形ベローズ
J-PARC 50GeV RFコンタクト付きチタン製成形ベローズ
Bellows with RF contact at 50GeV in the J-PARC

RFコンタクト機能を有するチタン製成形ベローズ
J-PARC 50GeV 両端RFシールド成形ベローズ
Pump Port with Finger-type RF Shield Bellows at 50GeV in the J-PARC

リングと真空排気装置を接続するコンポーネント

  
J-PARC 納入製品
Products delivered to J-PARC

モニターからベローズダクトまで製品納入
JT-60SA ポートベローズ概要
Overview of JT-60SA Port Bellows

核融合施設で利用される溶接ベローズ
Spring-8 XFEL用 角管用RFコンタクト付き溶接ベローズ
Bellows chamber for the XFEL accelerator

内部に角型RFコンタクトが付いた溶接ベローズ
筑波大学 GAMMA10 長尺溶接ベローズ
Long-travel welded bellows for the GAMMA10 at the University of Tsukuba

上下移動駆動機構に使用される長尺ベローズ
医療向け 長尺溶接ベローズ
The long welded Bellows for medical markets

凍結乾燥装置 搬送用としての溶接ベローズ
波無し 大型矩形ベローズ
Wave-less Large-sized rectangle Welded bellows

真空チャンバーとゲートバルブ間の誤差吸収用に使用
断熱用 二重管フレキ (トランスファーチューブ)
Thermal insulation double pipe type flexible tube ( Transfer Tube )

-196℃ ~ 200℃の範囲で、高い断熱性能をもつ
細胞搬送用 ダンパーベローズ
Damper Bellows for Cell Conveyance

細胞の損傷を緩和する輸送ケース
バルブ
FFTシリーズ フラットシールバルブ
FFT series Flat seal Valve

フィルム張付を排除し、高真空が可能な作動排気バルブ
シール方向切り替えバルブ
Reversing Valve

両方向にシールでき、タクトタイムを短縮
半導体製造装置用 300mm (12inch) ゲートバルブ
For semiconductor manufacturing equipment 300mm (12inch) Gate Valve

半導体装置に不可欠なバルブとして認知
医療
  手術支援ロボット力感覚提示デバイス用ベローズ
Bellows for a force feedback device of surgical robot

感覚提示デバイスとして活用される溶接ベローズ
機器
J-PARC 3GeV シンクトロン → MLFビームライン
陽子ビームプロファイルモニター (駆動型)
Proton beam profile monitors (driven)

接真空部は純チタン製の陽子ビーム監視モニター
KEKB ミラーチャンバー
Mirror chamber for KEKB

無酸素銅ビームダクトを内蔵したSUS製SRモニター

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