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半導体ウェハ―の搬送機構用溶接ベローズをご提供しております。

ストロークの長さ、上下搬送スピードなどお客様のご要望（仕様）にお応えします。

NEGLAZE（ネグレーズ）無酸素Pd/Ti蒸着ICFゼロレングスNEGポンプをご検討ください。

NEG（Non-Evaporable Getter）は、ゲッター作用を用いて排気を行い超高真空を生成することのできる真空ポンプです。加熱、昇華によって真空を得るゲッターポンプとは異なり、真空部品の内側に形成した膜を加熱後に冷却することによって水素などの気体分子を膜の表面・内部に吸着します。一般にターボ分子ポンプなどと組合わせて使用します。

チタンは、ステンレス鋼に対して軽量性・耐食性・生体適合性や高温強度で優れた特性を持っています。
弊社ではステンレス同等の性能を有したベローズを設計し、製作する技術を保有しています。

使用環境や必要とする特性、また材料の市場性を考慮し、一種・二種を選択してご提供させて頂きます。
ご相談ください。

矩形ベローズとは、正方形、長方形の開口を基本形状としたベローズです。
チャンバーとチャンバーの接続部やチャンバーとゲートバルブの接続部の取り付け誤差吸収用にご使用いただいております。
入江工研の矩形ベローズは折込ベローズと溶接ベローズの２種類ご用意し、取付誤差吸収用から伸縮変位用と様々なニーズに合った製品をご提案いたします。

自由形ベローズとは、お客様の御要望に沿った開口で製作するベローズです。
装置設計や配管設計の都合上、丸形や矩形・長円形ではベローズのスペースが確保出来ない場合などに、空いているスペースで適切な開口形状に製作する製品です。
入江工研の自由形ベローズは、取付誤差吸収用から伸縮変位用と様々なニーズに合った製品をご提案いたします。

コスラーズ　両面シール　seal 方向切替 typeをお考え下さい。
Normal type に更なる機能を持たせたゲートバルブです。seal 方向をトランスファーチャンバー側へ切り替えることにより、大気開放するプロセスチャンバー以外の真空を保持､ それによりプロセスチャンバーのメンテナンス中も装置の稼働を継続できます。その状態でプロセスチャンバー側の弁板 seal 用 O-ring の交換も容易に可能です。