角型ゲートバルブ " コスラーズ " 両面シール
この 30 年の間、半導体市場は Moore の法則に縛られない発展を遂げ、微細化はマイクロスケールからナノスケールへ急激に進歩してきました。製造装置も弛まぬ技術開発により微細化を実現し、それに搭載される真空ゲートバルブも絶えず性能向上が求められています。当社は市場要求の高まりに対応すべく、日々高機能化に取り組んでおります。
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- 片面シール Normal type
『無摺動』を設計思想として開発し､ 発展させたゲートバルブです。誕生以来その確かな性能を評価され、現在では様々な市場､ 環境で御使用頂いております。開口サイズ、圧力条件、高温対応、弁箱有無等々お客様の多種多様なニーズに合わせてカスタマイズ致します。 - 両面シール seal 方向切替 type
Normal type に更なる機能を持たせたゲートバルブです。seal 方向をトランスファーチャンバー側へ切り替えることにより、大気開放するプロセスチャンバー以外の真空を保持､ それによりプロセスチャンバーのメンテナンス中も装置の稼働を継続できます。その状態でプロセスチャンバー側の弁板 seal 用 O-ring の交換も容易に可能です。
- 片面シール Normal type
標準仕様
リーク量 |
本体：1 × 10-10[Pa･m3/s] 弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s] （同圧） |
|---|---|
使用温度 |
本体 :120[℃ ] アクチュエータ :60[℃ ] |
| 開閉時間 | 1.0 ～ 3.0[s] |
材質 |
弁箱 :A5052/SUS304 ベローズ :AM350、SUS316L 弁板 :A5052 シール材 :FKM |
| 操作圧力 | 0.45 ～ 0.55[MPa] |
| 寿命 | 100万回 ～ 300 万回 |
オプション |
加熱仕様の追加 : 弁体 , 本体 圧力方向 : 逆圧 |
お客様のご要望をお聞かせください。
個別に検討させて頂きます。
- 微細化に対応するためにパーティクルを減らしたい
- 振動を減らすことで付着パーティクルの離脱を減らしたい
- メンテナンス時の装置ダウンタイムを短縮したい
特定のご要望がある場合、お客様の仕様詳細をお聞かせ下さい。
要求仕様にあわせた力量計算、設計をご提案させていただきますので、お気軽にご相談下さい。
コスラーズ KOSLARZE
『無摺動』を設計思想として開発し、
発展させたゲートバルブです。
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半導体製造装置の仕切りバルブとして使いたい。
上記のような場合にご選択下さい。
ガリバー GARIVA
大開口サイズを得意とする
当社の代名詞であるゲートバルブです。
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フラットパネルディスプレイ製造装置の
仕切りバルブとして使いたい。
上記のような場合にご選択ください。
マリーナ MARINA
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排気バルブとして使いたい。
上記のような場合にご選択ください。
よくある質問
高負荷プロセス向け
メンテナンス時の装置ダウンタイムを大幅に短縮することができます。
またプロセス温度が何百度という高温で、弁体が150℃になる場合など高負荷プロセスにもご対応できます。ご相談ください。
弁体イージーメンテナンス
長期間使用していただいていますとパーティクルが増えてまいります。その場合弁板メンテナンス（Oリング交換、弁板交換）が必要になります。弁体が簡単に取り出せるとお客様のメンテナンス負荷が非常に少なくなります。
長寿命（自社ベローズ採用）とは
当社はベローズメーカでもあります。創業以来50年以上ベローズを皆様にご提供し続けております。
長年の経験から生み出される長寿命のベローズはバルブのクオリティーの高さを助けてくれる存在です。
