「ベローズ(Bellows)」とは、日本語に訳すと「ふいご」「蛇腹」と言う意味を持ちます。
「ふいご」とはその昔、鍛冶屋さんが窯の中に風を吹き込むために使った道具のことです。「蛇腹」にはいろいろな意味がありますが、アコーディオンの腹の部分を思い起こしていただくとよいでしょう。
真空を扱う分野では、一般に金属で製作した筒状のものにひだを設け、伸縮性・気密性・バネ性を持たせたものを「ベローズ」と呼んでいます。
つまり、「ベローズ」=「伸縮管」です。
ベローズは半導体・液晶・真空機器をはじめとし、加速器・核融合・原子力・石油化学・鉄道・医療・建築等の幅広い分野で、気体・流体の気密封止のシール用部材とし使用されています。
中でも、大気と真空を遮蔽する搬送部のシール材として、また真空バルブや一般産業用バルブの「完全漏洩防止」シール材として多く採用されています。
昨今では特殊な材質の要求や、ベローズ表面のクリーン度、大型化、長寿命など年々高度な仕様が求められています。
ベローズには、製造方法の違いによりいくつかの種類がありますが、入江工研では下記の3種類を取り扱っております。
フレキシブルチューブとは、自由自在に曲げる事ができる装置の配管用として使用される比較的小口径のべローズです。
弊社はステンレス製のフレキシブルチューブを製作するメーカーです。
精密に波付プレスされたディスク状の薄肉金属板の内縁・外縁を交互に溶接しながら繋ぎ合わせて製作します。
まず金属素材で筒(パイプ)をつくり、その内側から圧力をかけて外径となる山を成形加工します。
素材(金属板)
金属板から波付
ワッシャーを抜きます。
内径・外径を
溶接します。
できあがり。
素材(金属板)
金属板をまるめて溶接し、
パイプをつくります。
治具を使って
成形加工します。
できあがり。
成形ベローズ | 溶接ベローズ | ||
材質 ※1 |
SUS316L ハステロイ®C-22 A5052 A3004 |
SUS316L ハステロイ®C-22 AM350相当 |
|
適応比較 ※2 |
伸縮性 | ○ | ◎ |
耐圧性 | ○ | ◎ | |
曲げ性 | ○ | ◎ | |
価 格 | ◎ | ○ |
耐腐食性 | 耐熱性 | 寿命特性 | 磁性 | 価格 | |
SUS316L | ○ | ○ (500℃以下) |
○ | なし | 安価 |
AM350相当 (溶接ベローズのみ) |
× | ○ (450℃以下) |
◎ | あり | SUSより 高価 |
ハステロイ®C-22 | ◎ | ◎ | ○ | なし | 高価 |