よくある質問

当社は従業員が約200名規模の会社です。創業約60年であり、2代目のオーナー企業です。
主力製品は半導体、FPD市場にご提供していますが、約10年前から新規事業として医療機器事業に参入を試みています。医療機器分野は成長産業であり、技術の進歩とニーズの高まりが期待されています。しかしながら医療機器は厳格な法規制に従う必要があります。医療政策の動向を考慮し、持続的成長を目指したいと思います。

韓国、中国に拠点があります。ともに生産拠点、販売拠点を設けています。

教育に力を入れています。当社は真空分野の製品を設計・製造・検査・販売しております。これらの知識はすぐに身につくものではありません。そのため、教育が会社のキーファクターであることを痛感しております。守破離アカデミーを開講し、社員が動画を作成し新人を教える仕組みを構築しております。AIに関しても希望者は外部セミナーを受講できます。すでに40名が受講中（または済み）です。

ベローズは使用される環境によって、耐腐食性や磁性の有無、耐熱性等を考慮した材料が選定されます。特に考慮する条件のない場合には、仕様の範囲で、よりコンパクトでより低コストとなる材質で検討いたします。

使用条件が明確である場合、その条件に応じた寿命が設定されます。変更可能な条件のある場合には、ご指定頂いた寿命に基づいて、使用可能な条件を検討可能です。一般的な仕様寿命としましては、1万回から100万回の寿命帯でご指定頂いております。

ベローズは長くなるとバネ性と圧力の影響により、座屈・蛇行という現象が発生します。この現象はスムーズな動きを阻害し、寿命低下の原因になりうる為、内部もしくは外部に座屈・蛇行を防止するための機構を設ける必要があります。ベローズ周りの構造物との干渉等を考慮することで長さが決まりますので、お問い合わせ下さい。

メンテナンスは必要です。メンテナンスの種類はOリング、グリス状態等を確認する「日常点検」、Oリング交換、オーバーホールを行う「定期メンテナンス」があります。また、性能向上のためのアップグレード、レトロフィット等のサービスも提供しています。
詳しくは営業担当、サービス部門へお問い合わせください。

韓国、中国、台湾にサービス拠点、販売代理店があります。

弊社のトレーニングを受講頂く事で弁板Oリング交換は御社にて交換可能です。専用治具を使用する事により作業効率を上げ、正確な作業が可能となります。治具については環境、目的に合わせたカスタム仕様も承っています。
詳しくは営業担当、サービス部門へお問い合わせください。

最大製作実績は以下の通りです。
・ステンレス鋼溶接構造の場合
角型：幅1500×奥行1000×高さ800
丸形：φ1000×高さ800
上記以外のサイズでも各種対応させて頂きます。

・アルミニウム合金削り出しの場合
角型：幅1500×奥行1000×高さ800
丸形：φ1000×高さ800
上記以外のサイズでも各種対応させて頂きます。

・ステンレス材
長所:

耐久性: ステンレス鋼は強度が高く、耐久性があります。長期間使用する場合に適しています。
耐食性: ステンレス鋼は錆びにくく、腐食に対して強いです。
高温耐性: 高温環境での使用に適しています。
溶接性：アルミニウムに比べて溶接が容易であり、複雑な構造に対応できます。

短所:

重量: ステンレス鋼は比較的重いため、軽量性が求められる場合は不利です。
コスト: ステンレス鋼はアルミニウムよりも高価です。

・アルミニウム材

長所:

軽量性: アルミニウムは軽量で、移動や取り扱いが容易です。
コスト効率: アルミニウムは比較的安価です。
導電性、熱伝導性: アルミニウムは良好な導電性、熱伝導性を持ちます。
ガス放出特性：一般的にステンレス鋼よりもガス放出速度が小さいです。
（但し、高温ベーキングによる脱ガス処理は不可であり、陽極酸化処理であるアルマイトはガス放出が大きい）
放射化特性：アルミニウムはステンレス鋼よりも誘導放射能の強度が低く、減衰特性も優れています。

短所:

低い耐久性: アルミニウムはステンレス鋼よりも柔らかく、傷つきやすいです。
低い耐食性: アルミニウムはステンレス鋼に比べて耐食性は低いです。

どちらの材料を選択するかは、具体的なアプリケーションや予算によります。
ステンレス鋼は耐久性と耐食性を重視する場合に適していますが、軽量性とコスト効率を求める場合はアルミニウムが適しているかもしれません。

シール材に関して、メタルシールを用います。エラストマーOリングを使用する場合はOリングの常用耐熱温度以下になるよう水冷することが求められます。
メタルシールの場合でも代表的な銅ガスケットの耐熱温度が400度程度ですのでそれ以下となるよう制御することが望ましいと思います。
チャンバー本体に関して、ステンレス鋼の場合500度程度まで機械的強度を保ちますが、上記シール性の問題や周囲への安全を考慮し、チャンバー壁面に水冷ジャケット構造を採用することが必要です。
チャンバー内部に磨いた遮熱板を非接触にて複数枚設置することでも輻射伝熱を小さくする効果がございます。