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製品案内
金属ベローズ
配管の伸縮継手としての使用はもちろん、その優れた気密性を活かして、半導体・液晶・真空機器をはじめとし、加速器・核融合・原子力・石油化学・鉄道・医療・建築等の幅広い分野で使用されています。
真空バルブ
真空と真空、真空と大気を隔離するためのものです。ディスプレイや半導体基板を作製するうえでの各種工程を隔離するために使用されるほか、真空チャンバーと真空ポンプの間に配置して真空チャンバーの圧力を調整するためにも使われます。
ゲートバルブ
コスラーズ
次世代のＬＳＩ及びＬＣＤの製造装置にも使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。化合物半導体、光素子等最近のプロセスラインでは高レベルでの無塵化が厳しく要求されております。
大型ゲートバルブ
ガリバー
差圧キャンセル機構を採用、シール開口の大型化が容易（Ｇ５～Ｇ１０まで豊富な実績）、シール性能信頼性向上、弁板の傾斜動作が不要のため、シール動作が安定し信頼性が向上
丸型ゲートバルブ他
ＭＡＲＩＮＡは安定したシ－ル性能を持ち、シンプルな構造、コンパクトなデザイン丸型・振り子式バルブです。半導体製造装置から、大型ＦＰＤ、有機ＥＬ製造装置まで対応致します。
真空機器
導入機
規格化した各種導入機をご提供しています。高真空領域まで使用可能です。（ベローズ式直進（直線）導入機は超高真空まで使用可能）ベローズ式タイプについては高信頼性の自社製金属溶接ベローズを使用しております。
ベローズ式
直進(直線)導入機
当社の直進（直線）導入機は、高信頼性の溶接ベローズを内蔵し、長ストロークを可能にした直進（直線）導入機です。また、各サイズ共に手動と自動のタイプをご用意しています。
ベローズ式
回転導入機
テベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製溶接ベローズを用いているので、高真空領域までご使用いただけます。
