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真空バルブ
角型ゲートバルブ　" ガリバー "　片面シール

角型ゲートバルブ　" ガリバー "　片面シール

フラットパネルディスプレイの製造では、ガラスプレートが大型化するとともに、ディスプレイの高精細化が進んでいます。ゲートバルブ　ガリバーはシール開口の大型化が容易でありＧ５～Ｇ１０.５まで豊富な実績を有します。
弁板の傾斜動作が不要のため、シール動作が安定し信頼性が向上します。

- L-motion type
  大開口サイズを得意とする当社の代名詞であるゲートバルブです。弁板ユニットに自社製ベローズを組み合わせた
  シリンダーを搭載することで大開口であっても安定した seal 性を確保することができます。また差圧キャンセル
  構造を取り入れることにより、逆圧対応時に弁板に作用する圧力差を大幅に低減することも可能です。
- T-motion type
  L-motion type を進化させたゲートバルブです。Lock ～ Free 時に 2 枚の弁板を同時に動作させることで動作
  時間の短縮が可能です。またロッドの変形も無いことから、反力による振動の発生も抑えられます。運転モード
  の切替もオプションとして選択することができます。

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片面シール　 L-motion

大気圧は約100kPaで1cm²当りおよそ9.8Ｎ（≒1kgw）の重量に相当する圧力です。もし真空ゲートバルブの（矩形）開口サイズが300mm×2000mmとすると、荷物を載せた４tonトラックの総重量（8ton）と同じ位のシール力量が必要になります。つまりこれだけの力量で100万回も動作するバルブは、重量もサイズも大きく、弁体の剛性も高める必要があり、その結果製造コストも高くなり製造する立場から見ると弊害ばかり残ってしまいます。
当社で以上の問題を解消するため「差圧キャンセル弁」を開発・製品化しご提供することにより、皆様にご満足いただいております。

・FPD/OLED 装置向け超大型対応（～ G10.5）
・圧力キャンセル機構搭載
・長寿命（自社ベローズ採用）

標準仕様

リーク量	本体：1 × 10^-10[Pa･m³/s] 　弁体：5 × 10^-10[Pa･m³/s] 　　　　　（逆圧）
使用温度	本体 :120[℃ ] アクチュエータ :60[℃ ]
開閉時間	2.5 ～ 5.0[s]
材質	弁箱 :A5052/SUS304 ベローズ :AM350、SUS304 　　　　　（圧力キャンセル）弁板 :A5052 シール材 :FKM
操作圧力	0.45 ～ 0.60[MPa]
寿命	100万回
オプション	圧力キャンセル無し仕様

片面シール　L-motion
通常のFPD/OLED製造装置用の真空ゲートバルブです

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両面シール　T-motion
L-motion に更なる機能を持たせた真空ゲートバルブです。

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カスタム設計

お客様のご要望をお聞かせください。
個別に検討させて頂きます。

微細化に対応するためにパーティクルを減らしたい
振動を減らすことで付着パーティクルの離脱を減らしたい
メンテナンス時の装置ダウンタイムを短縮したい

特定のご要望がある場合、お客様の仕様詳細をお聞かせ下さい。
要求仕様にあわせた力量計算、設計をご提案させていただきますので、お気軽にご相談下さい。

コスラーズ　KOSLARZE

『無摺動』を設計思想として開発し、
発展させたゲートバルブです。
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半導体製造装置の仕切りバルブとして使いたい。

上記のような場合にご選択下さい。

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