角型ゲートバルブ " ガリバー " 両面シール
フラットパネルディスプレイの製造では、ガラスプレートが大型化するとともに、ディスプレイの高精細化が進んでいます。
ゲートバルブ ガリバーはシール開口の大型化が容易でありＧ５～Ｇ１０.５まで豊富な実績を有します。弁板の傾斜動作が不要のため、シール動作が安定し信頼性が向上します。
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- L-motion type
大開口サイズを得意とする当社の代名詞であるゲートバルブです。弁板ユニットに自社製ベローズを組み合わせたシリンダーを搭載することで大開口であっても安定した seal 性を確保することができます。また差圧キャンセル構造を取り入れることにより、逆圧対応時に弁板に作用する圧力差を大幅に低減することも可能です。 - T-motion type
L-motion type を進化させたゲートバルブです。Lock ～ Free 時に 2 枚の弁板を同時に動作させることで動作時間の短縮が可能です。またロッドの変形も無いことから、反力による振動の発生も抑えられます。運転モードの切替もオプションとして選択することができます。
- L-motion type
標準仕様
リーク量 |
本体：1 × 10-10[Pa･m3/s] 弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s] （同圧） |
|---|---|
使用温度 |
本体 :120[℃ ] アクチュエータ :60[℃ ] |
| 開閉時間 | 2.5 ～ 4.0[s] |
材質 |
弁箱 :A5052/SUS304 ベローズ :AM350 弁板 :A5052 シール材 :FKM |
| 操作圧力 | 0.45 ～ 0.60[MPa] |
| 寿命 | 100万回 |
お客様のご要望をお聞かせください。
個別に検討させて頂きます。
- 微細化に対応するためにパーティクルを減らしたい
- 振動を減らすことで付着パーティクルの離脱を減らしたい
- メンテナンス時の装置ダウンタイムを短縮したい
特定のご要望がある場合、お客様の仕様詳細をお聞かせ下さい。
要求仕様にあわせた力量計算、設計をご提案させていただきますので、お気軽にご相談下さい。
コスラーズ KOSLARZE
『無摺動』を設計思想として開発し、
発展させたゲートバルブです。
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半導体製造装置の仕切りバルブとして使いたい。
上記のような場合にご選択下さい。
ガリバー GARIVA
大開口サイズを得意とする
当社の代名詞であるゲートバルブです。
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フラットパネルディスプレイ製造装置の
仕切りバルブとして使いたい。
上記のような場合にご選択ください。
マリーナ MARINA
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排気バルブとして使いたい。
上記のような場合にご選択ください。
よくある質問
FPD/OLED 装置向け超大型対応（～ G10.5）
フラットパネルディスプレイの製造では、ガラスプレートが大型化するとともに、ディスプレイの高精細化が進んでいます。ゲートバルブ ガリバーはシール開口の大型化が容易でありＧ５～Ｇ１０.５まで豊富な実績を有します。
T-motion 機構による高速動作
タクトタイムを短縮したいというご依頼は常にいただいております。T-motion機構を採用することによりタクトタイムを短縮することが可能です。
長寿命（自社ベローズ採用）とは
当社はベローズメーカでもあります。創業以来50年以上ベローズを皆様にご提供し続けております。
長年の経験から生み出される長寿命のベローズはバルブのクオリティーの高さを助けてくれる存在です。
