直進導入機シリーズ
直進導入機とは、大気側から真空中にある機材・機器を真空状態を保持したまま直進させるための製品です。基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送等に御使用頂いております。入江工研の直進導入機はベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案致します。
当社溶接ベローズを内蔵し、ストロークを１０～２００mmまで規格化しました。駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、超高真空の領域で使用可能です。機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、小型、軽量になっています。手動タイプはベーキング温度２５０℃に耐える設計にしております。
※自動タイプのベーキング温度、およびモーター仕様についてはご相談下さい。(個別設計対応）
共通仕様
ベローズシール直進（直線）導入機リスト
| 機種名 | 駆動方法 | 接続 フランジ |
先端軸径 (h7) |
ストローク | 型式 | 製品図面 ダウンロード |
|---|---|---|---|---|---|---|
| コンパクト導入機 |
||||||
| 手動 | CF34 | φ6 | 10mm | ILC-34-10 | pdf形式 | |
| 15mm | ILC-34-15 | pdf形式 | ||||
| 20mm | ILC-34-20 | pdf形式 | ||||
| 手動導入機 |
||||||
| 手動 | CF34 | φ6 | 30mm | ILD-34M30 | pdf形式 | |
| 50mm | ILD-34M50 | pdf形式 | ||||
| CF70 | φ8 | 30mm | ILD-70M30 | pdf形式 | ||
| 50mm | ILD-70M50 | pdf形式 | ||||
| 100mm | ILD-70M100 | pdf形式 | ||||
| CF114 | φ14 | 50mm | ILD-114M50 | pdf形式 | ||
| 100mm | ILD-114M100 | pdf形式 | ||||
| 150mm | ILD-114M150 | pdf形式 | ||||
| 200mm | ILD-114M200 | pdf形式 | ||||
| モーター駆動 導入機 |
||||||
| モーター 駆動 |
CF70 | φ8 | 50mm | ILD-70A50 | pdf形式 | |
| 100mm | ILD-70A100 | pdf形式 | ||||
| 150mm | ILD-70A150 | pdf形式 | ||||
| CF114 | φ14 | 50mm | ILD-114A50 | pdf形式 | ||
| 100mm | ILD-114A100 | pdf形式 | ||||
| 150mm | ILD-114A150 | pdf形式 | ||||
| CF152 | φ22 | 100mm | ILD-152A100 | - | ||
| CF203 | φ22 | 100mm | ILD-203A100 | - |
規格品では仕様を満足できない場合にも
個別に検討させて頂きます。
特定のご要望がある場合、お客様の仕様詳細をお聞かせ下さい。
様々なご使用に対して最適な設計でご提案させていただきますので、お気軽にご相談下さい。
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