真空バルブ
当社は、主に半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置（以下 FPD 製造装置）において、搬送される基板の投入口や二つの真空チャンバーの間に配する仕切り弁であるゲートバルブを製作しています。
まず、半導体製造における微細加工技術の進歩とともに歩み、無摺動ゲートバルブ「コスラーズ」を完成させました。
ディスプレイ製造装置においても、基板の大型化と高いシール性を両立させるため、金属ベローズ技術を応用した大型ゲートバルブ「GARIVA」を完成させ、30 年以上に渡り真空ゲートバルブを半導体市場、FPD 市場にご提供して参りました。
※製品の詳細・お見積り等に関してはお問い合わせ下さい。
主な使用例
「パーティクルフリー」＋「高いシール性」+「イージーメンテナンス」
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ゲートバルブの種類
ゲートバルブには、製造方法の違いや仕様用途の違いによりいくつかの種類がありますが、弊社では主に下記の３種類を取り扱っております。
コスラーズ KOSLARZE
発展させたゲートバルブです。
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【下記のような場合にご選択ください】
・半導体製造装置の仕切りバルブとして使いたい
ガリバー GARIVA
ゲートバルブです。
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【下記のような場合にご選択ください】
・フラットパネルディスプレイ製造装置の
仕切りバルブとして使いたい
マリーナ MARINA
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【下記のような場合にご選択ください】
・排気バルブとして使いたい
真空ゲートバルブは真空装置内で各種基板の表面処理を行なうため、真空と大気、もしくは圧力が異なる真空空間を隔離しシールを行なう機能が要求されます。近年の真空装置の大型化に伴い、真空ゲートバルブの開口サイズも大型化の要求が増加しました。真空ゲートバルブは弁体の動作方向により以下の３通りの仕様に分類できます。
- ①逆圧仕様：
- 真空側から大気側（低圧⇒高圧）に向かって弁体をシールさせる。（水を流している蛇口に掌を当てて水を止めようとするイメージです）
- ②同圧仕様：
- 弁体が遮蔽する二つの空間がほぼ同じ圧力
- ③正圧仕様：
- 大気側から真空側（高圧⇒低圧）に向かって弁体をシールさせる。（お湯を張った浴槽の中から、排水している状態で栓を締めるイメージです）
弊社では、お客様のご要望に対応しております。
様々なご使用に対して最適な設計でご提案させていただきますので、お気軽にご相談下さい。
メンテナンスは必要ですか？
メンテナンスは必要です。メンテナンスの種類はOリング、グリス状態等を確認する「日常点検」、Oリング交換、オーバーホール
を行う「定期メンテナンス」があります。また、性能向上のためのアップグレード、レトロフィット等のサービスも提供しています。
詳しくは営業担当、サービス部門へお問い合わせください。
海外のサポート体制はありますか？
韓国、中国、台湾にサービス拠点、販売代理店があります。
Oリングの交換は自社でもできますか？
弊社のトレーニングを受講頂く事で弁板Oリング交換は御社にて交換可能です。専用治具を使用する事により作業効率を上げ、
正確な作業が可能となります。治具については環境、目的に合わせたカスタム仕様も承っています。
詳しくは営業担当、サービス部門へお問い合わせください。
