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技術情報
製品群ごとに、お客様が製品を選定するうえでご参考になる情報を記載しております。是非ご一読いただき、選定の一助にしていただけると幸いです。
金属ベローズ
ベローズとは？
「ベローズ（Ｂｅｌｌｏｗｓ）」とは、日本語に訳すと「ふいご」「蛇腹」と言う意味を持ちます。
アコーディオンの腹の部分を思い起こしていただくとよいでしょう。
真空を扱う分野では、一般に金属で製作した筒状のものにひだを設け、伸縮性・気密性・バネ性を持たせたものを「ベローズ」と呼んでいます。
つまり、「ベローズ」＝「伸縮管」です。
真空バルブ
真空バルブとは？
真空ゲートバルブは真空装置内で各種基板の表面処理を行なうため、真空と大気、もしくは圧力が異なる真空空間を隔離しシールを行なう機能が要求されます。
真空ゲートバルブは弁体の動作方向により、３通りの仕様に分類できます。
真空機器
真空機器
性能要求が厳しい半導体デバイス用製造装置等のサプライヤーとして高度にカスタマイズされた真空チャンバーをご提供しています。
5軸制御複合加工機、立形マシニングセンター、CNC精密旋盤、３次元測定器等を保有して、半導体製造装置向け真空チャンバーや加速器用真空チャンバーなど高精度の加工が要求される場合に活用しています。
