真空バルブとは、真空と真空、真空と大気を隔離するためのものです。
ディスプレイや半導体基板を作製するうえでの各種工程を隔離するために使用されるほか、真空チャンバーと真空ポンプの間に配置して真空チャンバーの圧力を調整するためにも使われます。
真空バルブは、熱、ガス、プラズマ等が付加された真空を隔離することや真空を破壊することなく大気と隔離する気密性が要求されます。
基板が通過するための角型開口をもったケース(弁箱)と開口を塞ぐための仕切り板(弁板)、および弁板を動作させる機構(駆動部)で構成されます。
処理室へ投入された基板はゲートバルブを閉じることで密閉された環境に保たれ、ここで各種製膜のため熱、ガス、プラズマ等にさらされます。これらの工程は主に真空下で行われ、この環境を保つためゲートバルブには高いシール性が要求されます。弊社製品の中ではKOSLARZE(コスラーズ)が該当します。
特に超大型基板に対応した大開口ゲートバルブです。弊社製品の中では差圧キャンセル機構を採用したGARIVA(ガリバー)が該当します。開口サイズ3000mm以上の大型バルブの納入実績があり、シール動作が安定している信頼性の高いバルブです。
高いシール性を確保するためには大開口においても弁板シール材は均一に圧縮させる必要があります。これを実現させるためにはKOSLARZEのユニット数を増やすことで弁板を多点で押す方法と、弁板内部にエアーシリンダーを搭載することで開口部に極めて近い位置でシールを駆動させるタイプとで対応致します(GARIVA)。
安定したシ-ル性能を持ち、シンプルな構造、コンパクトなデザイン丸型・振り子式バルブです。主に処理室(チャンバー)と真空ポンプの間に設置され排気系の仕切りとして用います。チャンバー圧力を調整するため弁開度を任意位置で停止させる機能をもたせたものもあります(コンダクタンスバルブ)。
KOSLARZEと同様に弁箱と弁板および駆動部で構成されます。開口形状は真空ポンプに接続するため丸型となります。弊社製品の中ではMARINA(マリーナ)が該当します。
L型バルブ(アングルバルブ)は主にチャンバーと粗引きポンプの間に設置され排気系の仕切りとして用います。
現在は
1FLV-16M0 KF16
1FLV-25M0 KF25
1FLV-40M0 KF40
1FLV-50M0 KF50
2FLV-70M0 CF70
1FLV-25C0 KF25
1FLV-40C0 KF40
1FLV-50C3 KF50
2FLV-70C0 CF70
のみご提供しております。