マルチ導入機シリーズ
マルチ動作導入機とは、直進＋回転または軸直角＋角度など一方向以上の動作を真空内で行うための製品です。特に当社製品であるMFLシリーズとTSL/TSNシリーズの組み合わせは様々な分野（半導体製造装置・加速器関連施設等）でご使用いただいております。
入江工研のマルチ動作導入機はベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案いたします。
強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。
回転導入と直進回転導入の２タイプをご用意しており、モーター駆動にも対応可能です。真空内外ともにサマリウム-コバルト磁石を使用しているため、高トルクが伝達でき、ロストモーションも少なく設計しております。真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板でキャンドしており、ガス放出量を低減しています。
また、磁石を取り付けたままベーキングができます。
ベアリングを交換することで、半永久的に使用できます。
モーター駆動が可能で、搬送の自動化、遠隔操作化が容易に行えます。
磁気結合式導入機リスト
XYテーブル・シャッターリスト
規格品では仕様を満足できない場合にも
個別に検討させて頂きます。
特定のご要望がある場合、お客様の仕様詳細をお聞かせ下さい。
様々なご使用に対して最適な設計でご提案させていただきますので、お気軽にご相談下さい。
