真空機器

性能要求が厳しい半導体デバイス用製造装置等のサプライヤーとして高度にカスタマイズされた真空チャンバーをご提供しています。
5軸制御複合加工機、立形マシニングセンター、CNC精密旋盤、３次元測定器等を保有して、半導体製造装置向け真空チャンバーや加速器用真空チャンバーなど高精度の加工が要求される場合に活用しています。

※製品の詳細・お見積り等に関してはお問い合わせ下さい。

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真空機器の特徴

「精密設計」・「加工・溶接技術」・「高いシール性」

半導体製造装置、FPD製造装置、太陽電池パネル製造装置、有機ELパネル製造装置、グローブBOX、理化学実験用装置、加速器施設、放射光施設にご活用いただいております。真空チャンバー内部は超高真空からプラズマ環境、希薄な活性ガス環境などの特殊な環境となるチャンバーの製作も承っております。当社製品であるゲートバルブも真空チャンバーに組み込んで出荷することができます。

真空チャンバーの設計においてCADソフトウェアを駆使し、3Dモデルを作成しています。これらのモデルは、高度なCAE解析により、応力値、変形量、加熱時の温度分布など、必要に応じてさまざまな要因が考慮され、製品の性能と信頼性を最適化します。

KEK提供：HERセプタムチャンバー用に納入させていただいた真空チャンバーの一例です。

主な使用例

「精密設計」＋「加工技術」

真空機器ではお客様の高い要求仕様を理解し、CADソフトウェアを駆使することにより精密設計へ落とし込みます。
最適な材料選定、難加工、溶接、洗浄、組立、検査工程を経て完成させます。大型チャンバーの場合、加工できる保有設備も重要な要素となります。弊社は十分な設備を取り揃えています。
高い真空技術により、シール性も担保することができます。

「ベローズ内蔵」

ベローズメーカである強みを生かし、導入機をラインナップさせていただいております。

真空機器導入機の種類

真空機器として、お客様の仕様用途の違いにより様々な製品をご提供しています。導入機も各種取り揃えております。

直進導入機シリーズ

直進導入機とは、大気側から真空中にある機材・機器を真空状態を保持したまま直進させるための製品です。主に、基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送等にご使用いただいております。

入江工研の直進導入機はベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案いたします。

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回転導入機シリーズ

回転導入機とは、大気側から真空中にある機材・機器を真空状態を保持したまま回転させるための製品です。主に、基板等の回転やシャッターなどの切替にご使用いただいております。

入江工研の回転導入機はベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案致します。

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マルチ導入機シリーズ

マルチ動作導入機とは、直進＋回転または軸直角＋角度など一方向以上の動作を真空内で行うための製品です。特に、当社製品であるMFLシリーズとTSL/TSNシリーズの組み合わせは、様々な分野（半導体製造装置・加速器関連施設等）でご使用いただいております。

入江工研のマルチ動作導入機はベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案いたします。

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よくある質問

どのくらいのサイズのチャンバーを提供していますか？

最大製作実績は以下の通りです。
・ステンレス鋼溶接構造の場合
角型：幅1500×奥行1000×高さ800
丸型：φ1000×高さ800
上記以外のサイズでも各種対応させて頂きます。

・アルミニウム合金削り出しの場合
角型：幅1500×奥行1000×高さ800
上記以外のサイズでも各種対応させて頂きます。

ステンレス材にするかアルミ材にするか迷っています。それぞれ、長所と短所等気を付けるところがありましたらお教えください

・ステンレス材
長所:
耐久性: ステンレス鋼は強度が高く、耐久性があります。長期間使用する場合に適しています。
耐食性: ステンレス鋼は錆びにくく、腐食に対して強いです。
高温耐性: 高温環境での使用に適しています。
溶接性：アルミニウムに比べて溶接が容易であり、複雑な構造に対応できます。
短所:
重量: ステンレス鋼は比較的重いため、軽量性が求められる場合は不利です。
コスト: ステンレス鋼はアルミニウムよりも高価です。

・アルミニウム材
長所:
軽量性: アルミニウムは軽量で、移動や取り扱いが容易です。
コスト効率: アルミニウムは比較的安価です。
導電性、熱伝導性: アルミニウムは良好な導電性、熱伝導性を持ちます。
ガス放出特性：一般的にステンレス鋼よりもガス放出速度が小さいです。
但し、高温ベーキングによる脱ガス処理は不可であり、陽極酸化処理であるアルマイトはガス放出が大きいです。
放射化特性：アルミニウムはステンレス鋼よりも誘導放射能の強度が低く、減衰特性も優れています。
短所:
低い耐久性: アルミニウムはステンレス鋼よりも柔らかく、傷つきやすいです。
低い耐食性: アルミニウムはステンレス鋼に比べて耐食性は低いです。

どちらの材料を選択するかは、具体的なアプリケーションや予算によります。
ステンレス鋼は耐久性と耐食性を重視する場合に適していますが、軽量性とコスト効率を求める場合はアルミニウムが適しているかもしれません。

真空チャンバー内部が高温になることが想定されます。高温になった場合、どのような点に気を付けたほうがいいでしょうか

シール材に関して、メタルシールを用いるか、またはエラストマーOリングの場合はOリングの常用耐熱温度以下になるよう水冷が必要です。
メタルシールの場合でも代表的な銅ガスケットの耐熱温度が400度程度ですのでそれ以下となるよう制御するのが望ましいです。
チャンバー本体は、ステンレス鋼の場合500度程度まで機械的強度を保ちますが、上記シール性の問題や周囲への安全を考慮し、チャンバー壁面に水冷ジャケット構造を採用してください。
チャンバー内部に磨いた遮熱板を非接触にて複数枚設置することでも輻射伝熱を小さくする効果がございます。