真空機器

性能要求が厳しい半導体デバイス用製造装置等のサプライヤーとして、高度にカスタマイズされた真空チャンバーを、設計から検査まで、高精度・高品質の真空機器をワンストップでご提供いたします。

安心と信頼の技術力は当社の強みです。

【SolidWorks】や【iCAD】などのCADソフトウェアにより、真空チャンバーの設計を柔軟かつ精密に行っています。設計された3Dモデルは、【ANSYS】によるCAE解析を通じて、応力分布・変形量・加熱時の温度挙動などを詳細に評価し、冷却システム導入時などに製品の性能と信頼性を最適化します。

お客様の高度な要求仕様を的確に把握し、設計段階から精度の高い製品づくりへとつなげることで、技術的な課題にも確実に対応いたします。

さらに、3Dモデルを用いた視覚的な設計確認により、打ち合わせや仕様調整もスムーズに進行。設計品質とコミュニケーション効率の両面で、お客様の開発を力強くサポートします。

機械加工設備は、立形・横形マシニングセンター、複合CNC旋盤、5軸制御機などを保有しており、製品の形状・材質・精度要求に応じて、最適な加工方法を選定しています。高精度かつ最適な加工方法を選定することで、半導体分野に求められる厳しい仕様にも柔軟に対応しています。

特に大型真空チャンバーの製作においては、加工可能な設備の有無が品質と納期に直結する重要な要素です。入江工研では、5軸制御立形複合旋盤を活用することで、複雑な形状や多面加工が必要なワークでも、一度の取り付けで高精度な加工を実現。工具交換や段取り替えの回数を減らすことで、加工誤差の低減と工程の効率化を図っています。

さらに、複雑な曲面や傾斜面の同時加工にも対応しており、設計自由度の高い製品にも柔軟に対応可能です。これにより、設計者の意図を忠実に反映した製品づくりが可能となり、信頼性の高い真空機器の提供を支えています。

寸法検査、外観検査、そして【 Heリークテスト】による漏れ検査など、複数の工程にわたる厳格な品質検査を実施しています。これらの検査は、製品の精度・密閉性・外観品質を総合的に評価するものであり、真空機器としての信頼性を確保するために欠かせない重要なプロセスです。

寸法検査では、高精度測定機器を用いて設計図面との誤差をミクロン単位で確認し、機能部品の整合性を保証します。外観検査では、溶接部や加工面の仕上がり、表面処理の均一性などを細かくチェックし、製品の完成度を高めます。

特に【 Heリークテスト】では、ヘリウムガスを用いた微細な漏れの検出を行い、真空環境下でのシール性を厳密に評価。高い真空保持性能が求められる半導体製造装置において、漏れのない構造は製品の安全性と長期安定稼働に直結します。

これらの検査工程を通じて、設計通りの性能を持つ高品質な真空機器をお客様に安心してご提供できる体制を整えています。一貫した品質管理により、製品のばらつきを抑え、安定した供給と信頼性の高い製品づくりを実現しています。