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真空ポンプ

NEGとは


NEG(Non-Evaporable Getter)は、ゲッター作用を用いて排気を行い超高真空を生成することのできる真空ポンプです。
加熱、昇華によって真空を得るゲッターポンプとは異なり、真空部品の内側に形成した膜を加熱後に冷却することによって水素などの気体分子を膜の表面・内部に吸着します。一般にターボ分子ポンプなどと組合わせて使用します。


特徴

 neg2.jpg

NEG(Non-Evaporable Getter)は、ゲッター作用によって化学的に活性な固体表面に気体分子を吸着する作用です。ベーキング後の真空容器の内面から常時放出される水素(H2)、一酸化炭素(CO)などの気体を吸着し、超高真空を維持します。
コンパクト設計の最新型NEGは、機能性を高めながら性能とコストの両面で最適化されており、お客様の用途において比較的容易に超高真空環境を作り出すことができます。例えば、超高真空環境を必要とする容器・機器・装置(分析装置や試料保管容器など)に応用できます。
当社はこのNEGの技術活かした『NEGLAZE(ネグレーズ)』を開発致しましたので下記にご紹介致します。


NEG.png

NEGLAZE(ネグレーズ)無酸素Pd/Ti蒸着ICFゼロレングスNEGポンプ

 

neg1.png

商品の機能


本製品は、ドライポンプ、ターボ分子ポンプと組み合わせて真空排気・ベーキングを行うことで10⁻⁸Pa台以下の超高真空を実現する排気ポンプです。

125℃~175℃のベーキング(推奨温度150度)によって排気を開始します。
つまり、チャンバーベーキングと同じ温度帯で継続的な加熱処理を必要とせず活性化できます。


主な特徴

 

 高速排気(H2:2,200L/s)
  ※参考値です。保証値ではありません。
高速排気(H2:2,200L/s)
※参考値です。保証値ではありません
 ゼロレングス(高さ0㎜) ベーキング時後は電源不要
 軽量/コンパクト/ICFポートに設置可 オイルフリーで排気可能
 無騒音・パーティクル無し 蒸発、スパッタを伴いません



主な仕様

 

         規格/サイズ ICF 203/(φ203×t22㎜) 重量 2.85kg 本体のみ
        排気可能ガス 水素 原理的にはCOも排気します
        再活性化可能回数 10回以上



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