真空ポンプ詳細

無酸素Pd/Ti蒸着ICF203ゼロレングスNEGポンプ（HBD02805000）

詳細は下記図面をご参照ください。

（単位：mm）

以下　順次ラインナップリリース　予定　　　　　　　　　　　　　　

※本製品は、大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構が有する、特許第6916537「非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置」の許諾を受けています。

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