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真空ポンプ詳細

無酸素Pd/Ti蒸着ICF203ゼロレングスNEGポンプ(HBB00305010)

 

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詳細は下記図面をご参照ください。

主な特徴

 

到達圧力 10-8Pa
排気速度*1 H2:2,200L/s
再使用可能回数 10回
突起部 無し 0㎜
電力 ベーキング後の電源不要
活性化条件 150℃ 12h
材質 SUS304L
サイズ ICF203



(単位:mm)
品番 HBB00305010
サイズ ICF203
PCD 181.1
厚みt 22
底部厚み 2

図面 PDFダウンロード

 

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以下 順次ラインナップリリース 予定              




※本製品は、大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構が有する、特許 第6916537「非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置」の許諾を受けています。

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