無酸素Pd/Ti蒸着ICF203ゼロレングスNEGポンプ(HBB00305010)

詳細は下記図面をご参照ください。
到達圧力 |
10-8Pa |
排気速度*1 |
H2:2,200L/s |
再使用可能回数 |
10回 |
突起部 |
無し 0㎜ |
電力 |
ベーキング後の電源不要 |
活性化条件 |
150℃ 12h |
材質 |
SUS304L |
サイズ |
ICF203 |
(単位:mm)
品番 |
HBB00305010 |
サイズ |
ICF203 |
PCD |
181.1 |
厚みt |
22 |
底部厚み |
2 |
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2D
3D
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以下 順次ラインナップリリース 予定
※本製品は、大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構が有する、特許 第6916537「非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置」の許諾を受けています。