ベローズ式直進導入機 手動タイプ（ILD-M)
ベローズ式直進導入機 手動タイプ（ILD-M)
特徴
1. 入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを 30 ～ 200mm まで規格化しました。
2. 駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、超高真空の領域で使用可能です。
3. 機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、小型、軽量になっています。
4. ベーキング温度 250℃に耐える設計にしております。
2. 駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、超高真空の領域で使用可能です。
3. 機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、小型、軽量になっています。
4. ベーキング温度 250℃に耐える設計にしております。
仕様
| 型式 | ILD-34M | ILD-70M | ILD-114M | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式末尾 | 30 | 50 | 30 | 50 | 100 | 50 | 100 | 150 | 200 | |
| ストローク (ｍｍ) | 30 | 50 | 30 | 50 | 100 | 50 | 100 | 150 | 200 | |
| 接続フランジ | CF34 | CF70 | CF114 | |||||||
| 駆動方法 | 手動 | |||||||||
| リーク量 | 1×10-9Pa・m3／s 以下 | |||||||||
| ベーキング温度 | 250℃ | |||||||||
| 使用主材料 | SUS304 | |||||||||
| ベローズ材料 | SUS316L | |||||||||
| 主要寸法 | A | 50-80 | 50-100 | 50-80 | 50-100 | 50-150 | 50-100 | 50-150 | 50-200 | 50-250 |
| B | 149 | 179 | 149 | 179 | 228 | 175 | 255 | 325 | 400 | |
| C | 7 | 7 | 11 | |||||||
| D | 16 | 20 | 35 | |||||||
| φ E (h7) | 6 | 8 | 14 | |||||||
| F | 5.0 | 7.0 | 12.5 | |||||||
| φ G | 8 | 12 | 16 | |||||||
| φ H | 42 | 42 | 70 | |||||||
| φ I | 38.0 | 38.0 | 48.6 | |||||||
| φ J | 51 | 51 | 61 | |||||||
| 製品図面ダウンロード | ||||||||||
規格品では仕様を満足できない場合にも
個別に検討させて頂きます。
特定のご要望がある場合、お客様の仕様詳細をお聞かせ下さい。
様々なご使用に対して最適な設計でご提案させていただきますので、お気軽にご相談下さい。
