入江工研株式会社
半導体とは電気的性質を備えた物質です。物質には電気を通す導体と電気を通さない絶縁体があり、半導体はその中間の性質を備えた物質です。半導体は情報の記憶、数値計算や論理演算などの知的な情報処理機能をもっており、電子機器や装置の頭脳部分として中心的な役割を果たします。
半導体製造装置とは、その名の通り半導体を製造するために用いられる装置のことです。成膜装置、微量不純物の添加装置、組立装置、検査装置などです。
この30年の間、半導体市場はMooreの法則に縛られない発展を遂げ、微細化はマイクロスケールからナノスケールへ急速に進歩してきました。製造装置も弛まぬ技術開発により微細化を実現してきております。製造装置に搭載される当社製品、真空ゲートバルブ、真空ベローズ、真空機器等も絶えず性能向上が求められています。
「無摺動」を設計思想として開発し、発展させたゲートバルブです。誕生以来その確かな性能を評価され、半導体市場にてお使いいただいております。開口サイズ、圧力条件、高温対応、弁箱有無などお客様のニーズに合わせてカスタマイズ致します。
ゲートバルブのOリング劣化に伴うメンテナンス時に トランスファーチャンバー側を大気開放する必要が無い為、メンテナンスをしていない他のプロセスチャンバーは継続生産が可能です。その為、装置の稼働率低下を最小限に抑えられます。
昨今の微細化に伴い半導体製造装置搭載部品にも低パーティクルガ求められます。
弊社はその要求に応える低パーティクルバルブを開発し、次世代装置に多数採用されております。
ウエハ搬送ロボットなど稼動しながら真空を保つ部分などに使用されます。
特徴として
・ウエハ搬送ロボットなど稼動しながら真空を保つ部分などに使用されます。
・材質：一般的なSUSや高寿命特性に優れたAM350、耐腐食性材料のハステロイ®等、用途に応じて選定可能です。
・寿命：1万回から1000万回の高寿命対応が可能で、装置ランニング時の部品交換頻度の低減が可能です。
・形状：丸形、長円型、矩形型、特殊型（異形）まで対応可能で、幅広い選択肢に対応可能です。
・独自技術：特殊用途として、アライメントレベルの捻じれ動作にも対応可能です。ベローズ一つでアライメント回転機構の削減等、装置のシンプル化にも貢献します。
ターボ分子ポンプとチャンバーの間など振動吸収、位置調整目的や真空排気配管等で使用されます。規格品も多種ラインナップされておりますので、選定幅が広く、また特殊設計にも対応可能です。
複雑な形状でカスタマイズ設計が必要なチャンバーや各種導入機を用意しております。
上記ベローズ、チャンバー、ゲートバルブとセットでお申し付けください。
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