半導体分野
半導体とは
半導体とは、電気的性質を備えた物質です。
物質には電気を通す導体と電気を通さない絶縁体があり、
その中間の性質を備えています。
また、情報の記憶、数値計算や論理演算などの
知的な情報処理機能をもっており、
電子機器や装置の頭脳部分として中心的な役割を果たします。
半導体製造装置とは
半導体製造装置とは、その名の通り半導体を製造するために用いられる装置のことです。例えば、成膜装置、微量不純物の添加装置、組立装置、検査装置などです。
この30年の間、半導体市場はMooreの法則に縛られない発展を遂げ、微細化はマイクロスケールからナノスケールへ急速に進歩してきました。製造装置も弛まぬ技術開発により微細化を実現しております。
製造装置に搭載される当社製品、真空ゲートバルブ、真空ベローズ、真空機器等も絶えず性能向上が求められています。
真空装置には、気体や液体が通過する経路の遮断、真空環境の制御に様々なゲートバルブが用いられます。
開口部形状が丸型のものは、主に気体、光等の導入、排気弁として用いるため、主に真空配管の接続部に使用されます。
開口部形状が角型のものは、半導体製造装置において、搬送される基板の投入口や二つの真空チャンバーの間に配し、仕切り弁として使用されます。
半導体ウェハーは、主に8インチと12インチがあり半導体ウェハーサイズに合わせた開口サイズをご提供しております。
複雑な形状でカスタマイズ設計が必要なチャンバーや各種導入機を用意しております。
