FPD分野
FPDとは
フラットパネルディスプレイの略になります。
液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイなどテレビ、携帯電話、PCディスプレイ、ノートPC、カーナビなどに搭載され、今や生活必需品です。
FPD製造装置とは
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FPDを製造するための装置です。
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真空装置には、気体や液体が通過する経路の遮断、真空環境の制御に様々なゲートバルブが用いられます。
開口部形状が丸型のものは主に気体、光等の導入、排気弁として用いるため、主に真空配管の接続部に使用されます。
開口部形状が角型のものはFPD（OLED)製造装置において、搬送される基板の投入口や二つの真空チャンバーの間に配し、仕切り弁として使用されます。
ガラス基板の大型化に伴い3000mmを超える開口サイズもご提供しております。
角型ゲートバルブ
ガリバー 片面シール
L-motion
大開口サイズを得意とする当社の代名詞であるゲートバルブです。弁板ユニットに自社製ベローズを組み合わせたシリンダーを搭載することで大開口であっても安定したseal性を確保することができます。また弊社だけの特許技術を有した差圧キャンセル構造を取り入れることによりどんな大口径サイズでも対応可能です。
角型ゲートバルブ
ガリバー 両面シール
T-motion
L-motion typeを進化させたゲートバルブです。Lock～Free時に2枚の弁板を同時に動作させることで動作時間の短縮が可能です。またロッドの変形もないことから、反力による振動の発生も抑えられます。運転モードの切り替えもオプションとして選択することができます。
複雑な形状でカスタマイズ設計が必要なチャンバーや各種導入機を用意しております。
