入江工研株式会社
フラットパネルディスプレイの略になります。液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイなどテレビ、携帯電話、PCディスプレイ、ノートPC、カーナビなどに搭載され、今や生活必需品です。
FPDを製造するための装置です。大画面化、薄型化、高精細化、低コスト化が求められ、３ｍ×3mの大きいガラス基板を高速で処理することが求められており、今後も装置の技術革新は必要です。
大開口サイズを得意とする当社の代名詞であるゲートバルブです。弁板ユニットに自社製ベローズを組み合わせたシリンダーを搭載することで大開口であっても安定したseal性を確保することができます。また弊社だけの特許技術を有した差圧キャンセル構造を取り入れることによりどんな大口径サイズでも対応可能です。
L-motion typeを進化させたゲートバルブです。Lock～Free時に2枚の弁板を同時に動作させることで動作時間の短縮が可能です。またロッドの変形もないことから、反力による振動の発生も抑えられます。運転モードの切り替えもオプションとして選択することができます。
通常の丸形液状から矩形や特殊形状の溶接ベローズを製作対応可能です。
また、矩形ベローズはチャンバーゲートサイズに合わせて製作が可能であり、チャンバー間の取付位置調整用として使用することが可能です。
大型矩形溶接ベローズ
ターボ分子ポンプとチャンバーの間など振動吸収、位置調整用に使用されます。
複雑な形状でカスタマイズ設計が必要なチャンバーや各種導入機を用意しております。
上記ベローズ、チャンバー、ゲートバルブとセットでお申し付けください。
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