入江工研は「金属ベローズや真空バルブ、真空配管、チャンバー、真空導入機、その他真空機器」などで超高真空等クリーンな環境や反応性ガス、薬品等に曝される厳しい環境で使用できるアイテムをご提供させていただいております。
ベローズ(金属製伸縮管)は半導体・液晶・真空機器をはじめとし、加速器・核融合・原子力・石油化学・鉄道・医療・建築等の幅広い分野で、気体・流体の気密封止のシール用部材とし使用されています。
大気圧と真空、真空と真空を遮断することができる開閉型のバルブです。真空とは「大気圧(約10万Pa≒1000hPa)よりも圧力の低い空間」のことで、入江工研の真空バルブは1×10-6Pa(大気圧の約1000億分の1の圧力)を大気圧から遮断できます。
チャンバー内部が超高真空から大気圧やプラズマ環境、希薄な活性ガス雰囲気などの特殊な環境下に対応したチャンバーの製作を仕切りバルブ込みで承っております。
真空と大気を遮断した状態で、直進(直線)・回転方向に駆動させる事ができる真空機器です。弊社にはベローズシール式と磁気結合式の2種類があります。