真空ベローズの入江工研株式会社ベローズ、真空バルブ、真空配管
ＬＥＤ、有機ＥＬ製造装置用にベローズ及びバルブ、リアクターを提供。 低炭素社会に向けたＣＯ2削減、省エネ技術としてＬＥＤ，有機ＥＬ照明系、ＬＥＤテレビ、ＨＶ、ＥＶ向けなどのデバイス製造技術が注目されています。
この分野に入って２７年間の豊富な実績を持つ入江工研の超高真空技術が活かされています。特に、メインリアクター部の設計から製作に亘る技術力は白色ＬＥＤ，青色レーザへの開発に大きな貢献と実績を残して参りました。 昨今、その需要が急拡大しています。
主力の溶接ベローズを組み込んだサセプター昇降回転機構、ウエハー搬送機構やロードロック機構に組み込まれる独自設計のゲートバルブ、冷却機構付き精密チャンバー設計、製作技術には当社コアコンピテンシーとしての溶接技量に需要家からの高い好評を得ています。
入江工研の供給システムはカスタムメイドを主体としており、最近はＧａＮ，サファイア主体にＧａＡｓ，ＳｉＣ基板など大型基板対応への需要が急伸している。この分野のＭＯＣＶＤ装置に関しては業界の５０％以上を確保しています。
一方、有機ＥＬ市場へは大型化するパネル需要に向け、４Ｇ～６Ｇ基板対応へのゲートバルブの供給も海外市場含めて引き合いが復活しています。またフレキシブル基板に向けたＲｏｌｌ ｔｏ Ｒｏｌｌに対応する大気／真空で気密保持が可能な“Ｆｌａｔ－Ｓｅａｌ”ゲートバルブもポスト-グリーンＦＰＤに向けた装置市場への新製品として投入しています。
