LED・有機EL製造装置用にベローズ及びバルブ、リアクターを提供
LED・有機EL製造装置用にベローズ及びバルブ、リアクターを提供。
低炭素社会に向けたCO2削減、省エネ技術としてLED、有機EL照明系、LEDテレビ、HV、EV向けなどのデバイス製造技術が注目されています。
この分野に入って27年間の豊富な実績を持つ入江工研の超高真空技術が活かされています。特に、メインリアクター部の設計から製作に亘る技術力は白色LED，青色レーザーへの開発に大きな貢献と実績を残して参りました。
昨今、その需要が急拡大しています。
主力の溶接ベローズを組み込んだサセプター昇降回転機構、ウエハー搬送機構やロードロック機構に組み込まれる独自設計のゲートバルブ、冷却機構付き精密チャンバー設計、製作技術には当社コアコンピテンシーとしての溶接技量に需要家からの高い好評を得ることができています。
入江工研の供給システムはカスタムメイドを主体としており、最近はGaN，サファイア主体にGaAs、SiC基板など大型基板対応への需要が急伸している。この分野のMOCVD装置に関しては業界の50％以上を確保しています。一方、有機EL市場へは大型化するパネル需要に向け、4G～6G基板対応へのゲートバルブの供給も海外市場含めて引き合いが復活しています。また、フレキシブル基板に向けたRoll to Rollに対応する大気／真空で気密保持が可能な “Flat－Seal” ゲートバルブもポスト - グリーンFPDに向けた装置市場への新製品として投入しています。
フレキシブル基板の"FFT_Valve" ゲートバルブ
