日本真空工業会表彰『イノベーション賞』受賞

（一社）日本真空工業会表彰『イノベーション賞』受賞

2023年5月26日、(一社) 日本真空工業会 (略称ＪＶＩＡ) より
当社開発の「無酸素Pd/Ti非蒸発型ゲッター (NEG) を蒸発したステンレス製フランジ及びベローズ」のテーマにより
2022年度（一社）日本真空工業会表彰『イノベーション賞』を受賞いたしました。

『イノベーション賞』

■ 受賞者
執行役員兼技師長　加藤良浩 / テクニカルセンター開発グループ長　矢部学 / テクニカルセンター　狩野悠

■ 受賞テーマ
「無酸素Pd/Ti非蒸発型ゲッター (NEG) を蒸発したステンレス製フランジ及びベローズ」

【受賞者（加藤良浩) 】のコメントは以下の通りです。
この度はイノベーション賞という大変栄誉ある賞を頂き、誠に有難うございます。審査委員の皆様方には、この場を借りて厚くお礼申し上げます。

今回の受賞は「無酸素Pd/Ti 非蒸発型ゲッター(NEG)を蒸着したステンレス製フランジ及びベローズ」です。無酸素Pd/Ti蒸着NEGは従来の合金製のNEGとは異なる特性を持つものであり、産業応用に最適化された技術です。
2023年日本表面真空学会において、学会賞を受賞された、KEK間瀬教授によって立案されたPd/Ti (NEG)方式を採用し、フランジ・ベローズへコーティング蒸着する事で、国産(NEG)としての汎用性の高い製品が出来ました。

今後はこの技術を世界に発信するべく、我々はより排気特性が高く再活性化が容易なNEG開発を進めて行きます。
今後ともご支援の程、宜しくお願いします。