概要
入江工研の各種導入機は、高真空領域まで使用可能です（製品によっては超高真空まで使用可能）。ベローズ式のタイプについては高信頼性の自社製金属溶接ベローズを使用しております。
入江工研は、各種導入機をラインナップしている唯一のベローズメーカーです。国内に工場を有しているため、お客様のご要望に応じて個別設計・製作もいたします。
種類と特長
1. ベローズ式直進（直線）導入機
高信頼性の溶接ベローズを内蔵し、長ストロークを可能にした直進（直線）導入機です。各サイズ共に手動と自動のタイプを用意しております。
・当社の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを10〜200mmまで規格化
・駆動部シールに溶接ベローズを採用し、超高真空の領域で使用可能
・機能性に重心を置いたシンプルな構成で、小型かつ軽量
・ベーキング温度250℃まで対応（手動タイプ）
※自動タイプについては加熱をお控えください。
コンパクト導入機 手動導入機 モーター駆動式導入機
2. ベローズ式回転導入機
高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているため、高真空領域まで使用可能です。
回転位置決め精度（無負荷時）が2°±0.5°のコンパクト回転導入機と、0.5°の高精度回転導入機の2タイプを用意しております。
・シール部に溶接ベローズを採用し、高真空の領域で使用可能
・機能性に重心を置いたシンプルな構成で、小型かつ軽量
・ベーキング温度120℃（最大150℃まで）対応
3. 磁気結合式導入機
強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。
回転導入と直進回転導入の2タイプを用意しており、モーター駆動にも対応可能です。圧力が10-5Pa以下の超高真空領域まで使用可能で、超寿命・高信頼性のフィードスルーです。
・真空内外ともにサマリウム-コバルト磁石を使用しているため、高トルクが伝達でき、ロストモーションが少ない設計
・真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板でキャンドしているため、ガス放出量を低減
・磁石を取り付けたままベーキング可能
・ベアリングを交換することで、半永久的に使用可能
・モーター駆動対応し、搬送の自動化、遠隔操作化が容易
4. 中空直進導入機
真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。
・中空構造のため、可能フランジに駆動させたものを任意に取り付けが可能
・シール部に溶接ベローズを採用し、高真空の領域で使用可能
・ベーキング温度120℃（最大150℃まで）対応
5. 関連部品
XYテーブル
磁気結合式直進回転導入機（MFL）を取り付ける際の軸差および角度調整にご利用ください。真空容器への機器を取り付ける際、誤差調整用として最適です。
・ベローズ式シール機構
・コンフラットフランジをラインナップ
・XY方向調整のみでなく、角度調整機構付きもラインナップ
シャッター
ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。真空機器向けに設計したシャッターです。手動タイプと自動タイプ（エアー駆動）の2タイプを用意しています。
・ベローズ式回転導入機を使用した信頼・実績のある機構を採用
・超高真空領域まで使用可能
・バタフライ式でなおかつシャッター折り曲げ式機構のため、視界が広範囲
・回転ロック機構付きで、開度が任意に設定可能
・両端コンフラットフランジ（両刃）のため、配管途中に取り付け可能
チャンバー
当社では、チャンバー内部が超高真空から大気圧やプラズマ環境、希薄な活性ガス環境などの特殊な環境になるチャンバーの製作をいたします。
・高い溶接技術により、仕切りバルブや架台まで含めた複雑な形状の対応が可能
