ゲートバルブ コスラーズ 片面シール
この 30 年の間、半導体市場は Moore の法則に縛られない発展を遂げ、微細化はマイクロスケールからナノスケールへ急激に進歩してきました。製造装置も弛まぬ技術開発により微細化を実現し、それに搭載される真空ゲートバルブも絶えず性能向上が求められています。当社は市場要求の高まりに対応すべく、日々高機能化に取り組んでおります。
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- 片面シール Normal type
『無摺動』を設計思想として開発し､ 発展させたゲートバルブです。誕生以来その確かな性能を評価され、現在では様々な市場､ 環境で御使用頂いております。開口サイズ、圧力条件、高温対応、弁箱有無等々お客様の多種多様なニーズに合わせてカスタマイズ致します。 - 両面シール seal 方向切替 type
Normal type に更なる機能を持たせたゲートバルブです。seal 方向をトランスファーチャンバー側へ切り替えることにより、大気開放するプロセスチャンバー以外の真空を保持､ それによりプロセスチャンバーのメンテナンス中も装置の稼働を継続できます。その状態でプロセスチャンバー側の弁板 seal 用 O-ring の交換も容易に可能です。
- 片面シール Normal type
標準仕様
| リーク量 | 本体：1 × 10-10[Pa･m3/s] 弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s] （逆圧） |
|---|---|
| 使用温度 | 本体 :120[℃ ] アクチュエータ :60[℃ ] |
| 開閉時間 | 1.0 ～ 3.0[s] |
| 操作圧力 | 0.45 ～ 0.55[MPa] |
| 寿命 | 100万回 |
| オプション | 加熱仕様の追加 : 弁体 , 本体 圧力方向 : 同圧 , 正圧 |
お客様のご要望をお聞かせください。
個別に検討させて頂きます。
- 微細化に対応するためにパーティクルを減らしたい
- 振動を減らすことで付着パーティクルの離脱を減らしたい
- メンテナンス時の装置ダウンタイムを短縮したい
特定のご要望がある場合、お客様の仕様詳細をお聞かせ下さい。
要求仕様にあわせた力量計算、設計をご提案させていただきますので、お気軽にご相談下さい。
よくある質問
Q
パーティクルフリー
A
パーティクルの継続的な低減は半導体業界の課題です。バルブの開閉に伴いパーティクルが
発生しては問題になります。パーティクルフリーに近づけることは必須条件です。
Q
シンプルな構造
A
シンプルな構造であるため、故障が少ないです。
Q
長寿命（自社ベローズ採用）とは
A
当社はベローズメーカでもあります。創業以来50年以上ベローズを皆様にご提供し続けております。
長年の経験から生み出される長寿命のベローズはバルブのクオリティーの高さを助けてくれる存在です。
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