丸型ゲートバルブ マリーナ 排気バルブ 他
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・排気用メインバルブ |
標準仕様
リーク量 |
本体：1 × 10-10[Pa･m3/s] 弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s]（逆圧） |
|---|---|
使用温度 |
本体 :120 [℃ ] アクチュエータ :60 [℃ ] |
| 開閉時間 | 3.0 ～ 5.0 [s] |
材質 |
弁箱：AC4C-T6 ベローズ：SUS316L（圧力キャンセル） 弁板：アルミニウム シール材：FKM |
| 操作圧力 | 0.45 ～ 0.60 [MPa] |
| 寿命 | 100万回 |
| オプション | 圧力キャンセル無し仕様 |
| 口径 | 型式 | A | B | C | D | E |
| 250 | M-250J(S)-2(3) | 460 | 655 | 100 | 134.5 | 250 |
| 320 | M-320J(S)-2(3) | 555 | 790 | 120 | 129.5 | 320 |
| 400 | M-400J(S)-2(3) | 630 | 944 | 135 | 129 | 400 |
|
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標準仕様
| リーク量 | 弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s]（動圧/正圧） |
|---|---|
使用温度 |
本体 :120 [℃ ] アクチュエータ :60 [℃ ] |
| 開閉時間 | 2.5～ 5.0 [s] |
材質 |
弁箱：A5052 シール材：FKM |
| 操作圧力 | 0.45 ～ 0.60 [MPa] |
| 寿命 | 100万回 |
お客様のご要望をお聞かせください。
個別に検討させて頂きます。
- 微細化に対応するためにパーティクルを減らしたい
- 振動を減らすことで付着パーティクルの離脱を減らしたい
- メンテナンス時の装置ダウンタイムを短縮したい
特定のご要望がある場合、お客様の仕様詳細をお聞かせ下さい。
要求仕様にあわせた力量計算、設計をご提案させていただきますので、お気軽にご相談下さい。
よくある質問
Q
マリーナ 排気用メインバルブ
A
角型ゲートバルブ（基板搬送の仕切り用）の他、排気用メインバルブも対応致します。
MARINAタイプ（弁機構はGARIVAと同じコンセプト）、LINKタイプにてご要望にお応えします。
Q
マリーナ 圧力キャンセル機構搭載
A
大型真空ゲートバルブGARIVAと共通コンセプトの製品です。弁体内部には圧力キャンセル機構を採用すれば、シールに対向する大気圧分の負荷を無くし、小さい力で耐逆圧保持を行うことができます。圧力キャンセル機構に採用するベローズは自社製品を採用しています。
Q
マリーナ 500A（開発品）対応可能
A
標準仕様は口径400mmが最大です。お客様のご要望により500mmまで対応可能です。
Q
CDV ロードロックチャンバー用大気ゲート
A
ロードロックチャンバーの基板投入口に設置するゲートバルブです。各チャンバーの間に設置されるバルブではありませんので弁箱、ベローズを用いません。
Q
CDV FPD/OLED 装置向け超大型対応（~G10.5)
A
FPD製造装置は生産効率を重視する観点より基板は大型化し、基板投入口サイズは最大3000mmを超えることもあります。CDVは弁体内部シリンダーによる多点押付けにより大きな開口でもシンプル且つ安定したシールが可能な製品を提供致します。
Q
CDV シンプル機構による高い信頼性
A
CDVは基板投入口に設置されることで必要シール力量は真空用ゲートバルブと比べ小さく、このことで構造がシンプル、軽量、部品数が少なく信頼性の高い製品となります。
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