入江工研株式会社

四国工場内様子

入江工研の各種導入機は、高真空領域まで使用可能です（製品によっては超高真空まで使用可能）。ベローズ式のタイプについては高信頼性の自社製金属溶接ベローズを使用しております。
入江工研は、各種導入機をラインナップしている唯一のベローズメーカーです。国内に工場を有しているため、お客様のご要望に応じて個別設計・製作もいたします。

四国工場のご紹介

1. ベローズ式直進（直線）導入機

高信頼性の溶接ベローズを内蔵し、長ストロークを可能にした直進（直線）導入機です。各サイズ共に手動と自動のタイプを用意しております。

• 当社の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを10〜200mmまで規格化

• 駆動部シールに溶接ベローズを採用し、超高真空の領域で使用可能

• 機能性に重心を置いたシンプルな構成で、小型かつ軽量

• ベーキング温度250℃まで対応（手動タイプ）
  ※自動タイプについては加熱をお控えください。

コンパクト導入機

手動導入機

モーター駆動式導入機

2. ベローズ式回転導入機

コンパクト回転導入機

高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているため、高真空領域まで使用可能です。
回転位置決め精度（無負荷時）が2°±0.5°のコンパクト回転導入機と、0.5°の高精度回転導入機の2タイプを用意しております。

• シール部に溶接ベローズを採用し、高真空の領域で使用可能

• 機能性に重心を置いたシンプルな構成で、小型かつ軽量

• ベーキング温度120℃（最大150℃まで）対応

3. 磁気結合式導入機

磁気結合式直進回転導入機

強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。
回転導入と直進回転導入の2タイプを用意しており、モーター駆動にも対応可能です。圧力が10^-5Pa以下の超高真空領域まで使用可能で、超寿命・高信頼性のフィードスルーです。

• 真空内外ともにサマリウム-コバルト磁石を使用しているため、高トルクが伝達でき、ロストモーションが少ない設計

• 真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板でキャンドしているため、ガス放出量を低減

• 磁石を取り付けたままベーキング可能

• ベアリングを交換することで、半永久的に使用可能

• モーター駆動対応し、搬送の自動化、遠隔操作化が容易

4. 中空直進導入機

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

• 中空構造のため、可能フランジに駆動させたものを任意に取り付けが可能

• シール部に溶接ベローズを採用し、高真空の領域で使用可能

• ベーキング温度120℃（最大150℃まで）対応

5. 関連部品