課題
高品質の半導体製造装置の開発には規格品にない長ストロークの導入機が必要だが、自社に設計できるノウハウがない
R社が設計中の装置には長ストロークの導入機が必要でした。既製品の導入機に仕様の合うものがなかったため、当初はベローズのみを購入し導入機も自社で設計しようと考えていました。ところが、R社には長ストローク設計のノウハウがなく、なかなか最適な設計を実現することができませんでした。
研究開発部のT氏は、次のように振り返ります。
「長ストロークでシャフトがたわむことが、位置決め精度に大きく影響します。ベローズのブロック構造に対応した駆動機構についても、長ストロークであることを考慮する必要がありました。また、自動で伸縮させられる機構を採用したかったのですが、どのような設計にすべきか一向に定まりませんでした」（T氏）
規格品の導入機は形状が大きく異なるため、ほとんど参考にもできません。解決策に心当たりもなく、研究開発はなかなか進みませんでした。
課題のポイント
規格品にない形状の導入機が必要
自社で設計しようとしたが、ノウハウがなく実現困難
解決のポイント
ベローズだけでなく、導入機のカスタマイズ品を納品してもらえた
カスタマイズにより最適設計を実現した導入機を採用できたことで研究の精度や開発スピードが向上
ベローズだけでなく、導入機のカスタマイズまで対応してもらえた
T氏は情報を求め、複数のベローズメーカーに問い合わせました。そして、その中の1社、入江工研からベローズだけでなく、導入機のカスタマイズ品まで対応できるという返答が得られたのです。
入江工研はベローズだけを製造している企業だと考えていましたが、導入機についても、規格品はもちろん、顧客のニーズに合わせた特殊設計の導入機にまで対応できるとのことでした。
これ以上、自社で当てもなく手探りの開発を続けるべきではないと感じ始めていたT氏は、入江工研への依頼を検討することにしました。
導入機の最適設計が実現され、研究精度・開発スピード向上
導入機の仕様について詳細を伝えたところ、入江工研なら技術的にも全く問題なく、要件を満たした導入機を作成できるとの返答が得られ、依頼を決定。
「導入機にXYテーブルなどもアセンブリした提案がもらえました。さらに軸受けなどの補足部品も製作してくれたことで、長ストロークなためにシャフトがたわんでしまう問題が解消されました。自社で無理して導入機の設計を続けず相談してよかったです」（T氏）
自動で伸縮させる機構を採用したことにより研究精度が上がり、R社では開発スピードの向上まで果たすことができました。今後R社では、ほかのカスタマイズ導入機についても入江に相談し改善していく予定です。
