入江工研は、金属ベローズの高度な加工・溶接技術と真空のノウハウを活かし
半導体製造分野を中心に、付加価値の高い製品を開発・製造する研究開発型企業です。
これまでに培った技術とチャレンジ精神を融合し、新たな技術を生み出し続けます。
入江工研は、金属ベローズの高度な加工・溶接技術と真空のノウハウを活かし
半導体製造分野を中心に、付加価値の高い製品を開発・製造する研究開発型企業です。
これまでに培った技術とチャレンジ精神を融合し、新たな技術を生み出し続けます。
Feature
ProductS
次世代のＬＳＩ及びＬＣＤの製造装置にも使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。
化合物半導体、高集積度素子、光素子等最近のプロセスラインでは高レベルでの無塵化が厳しく要求されております。
ＭＡＲＩＮＡは安定したシ－ル性能を持ち、シンプルな構造、コンパクトなデザイン丸型・振り子式バルブです。半導体製造装置から、大型ＦＰＤ、有機ＥＬ製造装置まで対応致します。
差圧キャンセル機構を採用、シール開口の大型化が容易（Ｇ５～Ｇ１０まで豊富な実績）、シール性能信頼性向上、弁板の傾斜動作が不要のため、シール動作が安定し信頼性が向上
さまざまな用途や性能要求が厳しい半導体デバイス用製造装置等のサプライヤーとして高度にカスタマイズされた半導体部品・装置をご提供しております。
また、規格化した各種導入機もご提供しております。高真空領域まで使用可能です。(ベローズ式直進（直線）導入機は超高真空まで使用可能）ベローズ式のタイプについては高信頼性の自社製金属溶接ベローズを使用しています。
当社の直進(直線)導入機は、高信頼性の溶接ベローズを内蔵し長ストロークを可能にした直進(直線)導入機です。 また、各サイズ共に手動と自動のタイプをご用意しています。
ベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、高真空領域までご使用いただけます。
case
company
guide
to watch videos
