角型ゲートバルブRectangular type gate valve製品カタログ

コンパクトコスラーズⅡ ゲートバルブCOMPACT KOSLARZE-Ⅱ GATE VALVES

COMPACT KOSLARZE-Ⅱ

※製品の詳細・お見積りはこちら規格品お見積り  カスタマイズ製品お見積り からご確認下さい。

概要

次世代のLSI及びLCDの製造装置にも使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。
高集積度素子、化合物半導体、光素子等最近のプロセスラインでは高レベルでの無塵化が厳しく要求されております。
「コスラーズⅡ」は、無摺動角型ゲートバルブとし、国内最初に開発した「コスラーズⅠ」の設計思想(無塵化)を受け継ぎ、より高性能に発展させたゲートバルブです。
その「コスラーズⅡ」をIKCの継続した開発により、小型化、軽量化を追及し、「コンパクトコスラーズⅡ」として、規格化致しました。

特徴

チャンバーに弁箱を取り付ける弁箱タイプと、弁板を装置チャンバー内にダイレクトにマウントするダイレクトマウントタイプがございます。詳しくは、弊社までお問い合せください。

ご注文に際して
詳しい仕様、寸法につきましてはカタログにてご紹介させていただいております。
その他カスタマイズバルブのお見積りはこちらのページから、 製品に関してのご質問、お問い合わせはこちらまでお願い致します。

Products guidance

金属ベローズ 金属ベローズ
Metal bellows
溶接ベローズ
成形ベローズ
フレキシブルチューブ
真空バルブ 真空バルブ
Vaccum valves
角型ゲートバルブ
丸型ゲートバルブ
大型ゲートバルブ(角型)
L型バルブ(アングルバルブ)
真空配管 真空配管部品
Vacuum line parts
クランプ
フランジ付きパイプ
パイプパーツ
フレキシブルチューブ
L型バルブ(アングルバルブ)
真空チャンバー 真空チャンバー
Vacuum chamber
チャンバー
導入機 導入機
Feed throughs
直進(直線)導入機
回転導入機
磁気結合式導入機
分野別メニュー
半導体分野
ベローズバルブ配管チャンバー
FPD(フラットパネルディスプレイ)分野
ベローズバルブ配管
PV(太陽電池)分野
ベローズバルブ配管
鉄道・その他
コンサベータ測重弁I形タワミ管
加速器・核融合分野
導入機チャンバー