真空バルブの入江工研株式会社真空バルブ、ゲートバルブ、Ｌ型バルブ
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次世代のＬＳＩ及びＬＣＤの製造装置にも使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。
高集積度素子、化合物半導体、光素子等最近のプロセスラインでは高レベルでの無塵化が厳しく要求されております。
「コスラーズⅡ」は、無摺動角型ゲートバルブとし、国内最初に開発した「コスラーズⅠ」の設計思想(無塵化)を受け継ぎ、より高性能に発展させたゲートバルブです。
その「コスラーズⅡ」をＩＫＣの継続した開発により、小型化、軽量化を追及し、「コンパクトコスラーズⅡ」として、規格化致しました。
チャンバーに弁箱を取り付ける弁箱タイプと、弁板を装置チャンバー内にダイレクトにマウントするダイレクトマウントタイプがございます。詳しくは、弊社までお問い合せください。
ご注文に際して
詳しい仕様、寸法につきましてはカタログにてご紹介させていただいております。
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