大型ゲートバルブ（角型）｜製品案内｜入江工研株式会社

大型ゲートバルブ（角型）Large-size rectangular type gate valve

超大型角型高真空ゲートバルブSWELL GARIVA

大型ゲートバルブ（角型）

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特長

差圧キャンセル機構を採用
シール性能信頼性向上
弁板の傾斜動作が不要のため、シール動作が安定し信頼性が向上
軽量（当社従来製品比７０％削減）
シール開口の大型化が容易
駆動エア消費低減（当社従来製品比５０％削減）
リングの粘着によるトラブルリスク軽減
摺動部が無いためパーティクルの発生を防止し、ハイレベルのクリーンオペレーションが可能
イージーメンテナンス（弁板の着脱が容易）

仕様

開口寸法		縦：～ 400mm 横：～3600mm 400mm × 3600mm　対応
Ｈｅリーク量		1×10^-10Pa･m³/s以下
対応差圧		正圧・逆圧共に対応
寿命		１００万回
操作圧力		0.45～0.55MPa
主要材質	弁板	Ａ５０５２
	ベローズ	AM350/SUS316L
	ボンネットフランジ	SUS304
	Ｏリング	フッ素ゴム(Hs70)
重量		約1,000kg （400mm×2800mm、弁箱無し）

: 半導体分野
ベローズ、バルブ、配管、チャンバー; FPD（フラットパネルディスプレイ）分野
ベローズ、バルブ、配管; PV（太陽電池）分野
ベローズ、バルブ、配管; 鉄道・その他
コンサベータ、測重弁、 I形タワミ管; 加速器・核融合分野
導入機、チェンバー