真空ポンプの入江工研株式会社真空ポンプ、ベローズ
詳細は下記図面をご参照ください。
| 到達圧力 | 10-8Pa |
|---|---|
| 排気速度*1 | H2：2,200L/s |
| 再使用可能回数 | 10回 |
| 突起部 | 無し 0㎜ |
| 電力 | ベーキング後の電源不要 |
| 活性化条件 | 150℃ 12ｈ |
| 材質 | SUS304L |
| サイズ | ICF203 |
| 品番 | サイズ | PCD | 厚みｔ | 底部 厚み |
図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| HBB00305010 | ICF203 | 181.1 | 22 | 2 | 2D 3D |
| 以下 順次ラインナップリリース 予定 | |||||
（単位：mm）
※図面は右クリックしてファイルを保存してください。
