真空機器の入江工研株式会社直線導入機、回転導入機、磁気結合式導入機
本ベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、超高真空領域までご使用いただけます。
回転位置決め精度(無負荷時)が２°±０.５°のコンパクト回転導入機と、０.５°の高精度回転導入機の２タイプをご用意致しております。
| 型式 | IRC34 | IRC70 | IRP70 |
|---|---|---|---|
| 駆動方法 | 手動 | ||
| リークレート | 1×10-10Pa・m3／s以下 | ||
| ベーキング温度 | 150℃ | 200℃以下 | |
| 使用主材料 | SUS304 | ||
| ベローズ材質 | SUS316L | ||
| 回転寿命 | 100,000回 | ||
| 機種名 | 型式 | 接続 フランジ |
先端軸径 | 回転位置 決め精度 (無負荷時) |
製品図面 ダウンロード |
|---|---|---|---|---|---|
| コンパクト回転導入機 仕様詳細 |
IRC34 | CF34 | φ6(f6) | ２°±０.５° | pdf形式 |
| dxf形式 | |||||
| IRC70 | CF70 | φ8(f6) | pdf形式 | ||
| dxf形式 | |||||
| 高精度回転導入機 仕様詳細 |
IRP70 | CF70 | φ10(e7) | ０.５° | pdf形式 |
| dxf形式 |
<ご注文に際して>
詳しい仕様、寸法につきましてはカタログでもご紹介させていただいております。
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上記規格品以外にも、お客様のご要求により個別設計・製作も対応致します。お気軽にご相談下さい。
