真空バルブの入江工研株式会社真空バルブ、ゲートバルブ、Ｌ型バルブ
ＭＡＲＩＮＡは安定したシ－ル性能を持ち、シンプルな構造、コンパクトなデザイン丸型・振り子式バルブです。
半導体製造装置から、大型ＦＰＤ、有機ＥＬ製造装置まで対応致します。
| 口径 | 型式 | Ａ | Ｂ | Ｃ | Ｄ | Ｅ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 250 | M-250J(S)-2(3) | 460 | 655 | 100 | 134.5 | 250 |
| 320 | M-320J(S)-2(3) | 555 | 790 | 120 | 129.5 | 320 |
| 400 | M-400J(S)-2(3) | 630 | 944 | 135 | 129 | 400 |
| 500 | M-500J(S)-2(3) | 816 | 1180 | 160 | 146 | 500 |
| 開口径 | ～φ500mm |
|---|---|
| 使用圧力範囲 | 大気圧～5.0×10-6Pa |
| ヘリウムリーク量 | 本 体：1×10-10Pa･m3/ｓ以下 |
| シール版：5×10-10Pa･m3/ｓ以下 | |
| 開動作時の差圧 | 1000Pa以下 |
| 寿命 | Lock／Free 動作 ５０万回 Open／Close 動作 １００万回 |
| 材質 | 弁箱ユニット：ＡＣ４Ｃ－Ｔ６ |
| シール板：Ａ５０５２ | |
| ベローズ：ＳＵＳ３１６Ｌ | |
| Ｏリング：ＦＫＭ（Viton） | |
| 取付姿勢 | シール面が『天』又は『地』 |
| ベーキング温度 | 弁箱：Max120℃ 駆動部：Max60℃ |
| エアー供給圧 | Lock／Free用ポート 0.5±0.05MPa Open／Close用ポート 0.5±0.05MPa |
| エアー配管径 | Lock／Free 6mm Open／Close 6mm |
| 動作時間 | Lock／Free 約1.0s Open／Close 約3.0s |
