真空機器の入江工研株式会社直線導入機、回転導入機、磁気結合式導入機
| 型式 | IRC34 | IRC70 | |
|---|---|---|---|
| 接続フランジ | CF34 | CF70 | |
| 駆動方法 | 手動 | ||
| 回転位置決め精度 | 2°±0.5 | ||
| 回転寿命 | 100,000回 | ||
| リークレート | 1×10-10Pa・m3／s以下 | ||
| ベーキング温度 | 150℃ | ||
| 使用主材料 | SUS304 | ||
| ベローズ材質 | SUS316L | ||
| 主要寸法 | D | 34 | 70 |
| L | 89.4 | 125.0 | |
| S | 70 | 70 | |
| A | 31.8 | 42.6 | |
| B | 27.2 | 38.0 | |
| C | 18 | 25 | |
| E | 6 | 8 | |
| F | 5.0 | 6.8 | |
| G | 20 | 25 | |
| H | 7.0 | 9.5 | |
| I | 64.2 | 88.3 | |
| J | 18 | 24 | |
| 製品図面 ダウンロード |
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