入江工研株式会社

Z社では、得意先のデバイスメーカーからの増産要求に応えるべく、現状よりさらに生産性が高い新型の製造装置を開発することになり、情報収集を加速していた。

装置の生産性能を向上させたいが、メンテナンス時の稼働停止によりタイムロスが発生

新型機の開発にあたり、生産技術部は主要な取引先、数社に装置に求める機能や仕様についてヒアリングを行いました。すると、ゲートバルブのメンテナンス後の生産性をもっと上げたいというニーズが特に多いことがわかりました。しかし、生産性を大幅アップするためには、チャンバーシステムならではの難しい問題がありました。
ゲートバルブの弁板用Oリングを交換する際、該当するプロセスチャンバーを大気状態にすると、トランスファーチャンバーも大気状態にしなければなりません。Oリング交換終了後には両方のチャンバーを再び真空状態に戻さねばならず、それに半日ほどの時間を要することになります。その間、該当クラスターでの生産自体が中断されてしまうため、生産性は低下、タクトタイムの上昇をきたしてしまうのです。
さらに問題なのは、複数あるプロセスチャンバーそれぞれでメンテナンスを行うたびに、クラスターの稼働が止まってしまうため、全体として相当な時間のムダが発生することでした。
この件を担当する生産技術部のE氏は、このタイムロス問題をなんとかクリアできないかとリサーチを始めましたが、適切なソリューションは見つかりませんでした。