入江工研株式会社

「シール方向切り替え式バルブ」なら、真空を保ったままバルブメンテナンスが可能！

E氏は、かねてから付き合いのある入江工研の営業担当に相談してみました。すると、同社の新製品の「シール方向切り替え式バルブ」を紹介されたのです。このバルブは、弁板の両側にOリングがあり、通常時はプロセスチャンバー側に、Oリング交換時はトランスチャンバー側にと、シールする方向を切り替えできるというものです。トランスチャンバー側を大気開放せず、真空を保ったままプロセスチャンバー側のOリング交換を行えるため、メンテナンスをしていない他のプロセスチャンバーは生産の継続が可能だということでした。
「メンテナンス時も稼働を停止せずに済むというのは半導体製造装置において画期的なことです。ただ、バルブの規格が従来品とは異なるのでは、と不安でしたが全く同一とのことで安心しました」（生産技術部・E氏）

メンテナンス時も装置の継続生産ができ、タクトタイムを約20％短縮できた

E氏は、試しに主力の製造装置で「シール方向切り替え式バルブ」に切り替え、評価を行ってみました。するとバルブのメンテナンス時にも確実に他チャンバーでの継続生産ができ、排気時間も短縮できました。結果として、タクトタイムを約20％短縮することができたため、Z社では正式な採用を決定。バルブ以外の部品は取り替えることなく、社のメイン商品である半導体製造装置において生産性能の大幅な向上を果たし、得意先からの増産要求に無事対応することができました。