入江工研株式会社

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ホーム製品情報:導入機

入江工研の導入機

概要

四国工場内様子

四国工場内様子

入江工研の各種導入機は、高真空領域まで使用可能です(製品によっては超高真空まで使用可能)。ベローズ式のタイプについては高信頼性の自社製金属溶接ベローズを使用しております。
入江工研は、各種導入機をラインナップしている唯一のベローズメーカーです。国内に工場を有しているため、お客様のご要望に応じて個別設計・製作もいたします。

四国工場のご紹介

種類と特長

1. ベローズ式直進(直線)導入機

高信頼性の溶接ベローズを内蔵し、長ストロークを可能にした直進(直線)導入機です。各サイズ共に手動と自動のタイプを用意しております。

  • 当社の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを10〜200mmまで規格化

  • 駆動部シールに溶接ベローズを採用し、超高真空の領域で使用可能

  • 機能性に重心を置いたシンプルな構成で、小型かつ軽量

  • ベーキング温度250℃まで対応(手動タイプ)
    ※自動タイプについては加熱をお控えください。

コンパクト導入機

コンパクト導入機

手動導入機

手動導入機

モーター駆動式導入機

モーター駆動式導入機

2. ベローズ式回転導入機

コンパクト回転導入機

コンパクト回転導入機

高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているため、高真空領域まで使用可能です。
回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のコンパクト回転導入機と、0.5°の高精度回転導入機の2タイプを用意しております。

  • シール部に溶接ベローズを採用し、高真空の領域で使用可能

  • 機能性に重心を置いたシンプルな構成で、小型かつ軽量

  • ベーキング温度120℃(最大150℃まで)対応

3. 磁気結合式導入機

磁気結合式直進回転導入機

磁気結合式直進回転導入機

強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。
回転導入と直進回転導入の2タイプを用意しており、モーター駆動にも対応可能です。圧力が10-5Pa以下の超高真空領域まで使用可能で、超寿命・高信頼性のフィードスルーです。

  • 真空内外ともにサマリウム-コバルト磁石を使用しているため、高トルクが伝達でき、ロストモーションが少ない設計

  • 真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板でキャンドしているため、ガス放出量を低減

  • 磁石を取り付けたままベーキング可能

  • ベアリングを交換することで、半永久的に使用可能

  • モーター駆動対応し、搬送の自動化、遠隔操作化が容易

4. 中空直進導入機

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

  • 中空構造のため、可能フランジに駆動させたものを任意に取り付けが可能

  • シール部に溶接ベローズを採用し、高真空の領域で使用可能

  • ベーキング温度120℃(最大150℃まで)対応

5. 関連部品

XYテーブル
XY調整+角度調整機構付きタイプ

XY調整+角度調整機構付きタイプ

磁気結合式直進回転導入機(MFL)を取り付ける際の軸差および角度調整にご利用ください。真空容器への機器を取り付ける際、誤差調整用として最適です。

  • ベローズ式シール機構

  • コンフラットフランジをラインナップ

  • XY方向調整のみでなく、角度調整機構付きもラインナップ

シャッター
手動タイプ

手動タイプ

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。真空機器向けに設計したシャッターです。手動タイプと自動タイプ(エアー駆動)の2タイプを用意しています。

  • ベローズ式回転導入機を使用した信頼・実績のある機構を採用

  • 超高真空領域まで使用可能

  • バタフライ式でなおかつシャッター折り曲げ式機構のため、視界が広範囲

  • 回転ロック機構付きで、開度が任意に設定可能

  • 両端コンフラットフランジ(両刃)のため、配管途中に取り付け可能

チャンバー

当社では、チャンバー内部が超高真空から大気圧やプラズマ環境、希薄な活性ガス環境などの特殊な環境になるチャンバーの製作をいたします。

  • 高い溶接技術により、仕切りバルブや架台まで含めた複雑な形状の対応が可能

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