入江工研株式会社

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ホーム製品情報:ベローズ

入江工研の金属ベローズ

概要

入江工研の技術の源は、金属ベローズの製作にあります。特に高性能、高信頼度を必要とする精密ベローズの分野に重点を置き、気密性の高い分野で数多くご使用いただいております。

入江工研の金属ベローズの最大の特長は、「伸縮性」「気密性」「バネ性」にあり、これらを組合せることで、配管の伸縮継手として多くのモノづくり現場を支えています。特にその優れた気密性は、半導体、液晶製造装置における真空分野をはじめ、加速器・核融合・原子力・石油化学・鉄道・医療・建築・宇宙まで幅広い分野に活かされ、コンタミネーションゼロ環境に向け、日々進化を遂げています。

チタン製成形ベローズ

チタン製成形ベローズ

RFコンタクト付き溶接ベローズ

RFコンタクト付き溶接ベローズ

異形溶接ベローズ

異形溶接ベローズ

種類と特長

1. 溶接ベローズ

精密なディスク上の薄肉金属板を内径と外径を交互に気密溶接しながら繋ぎ合わせて製作される金属ベローズです。ベローズと内部と外部の圧力を溶接により遮断した状態で軸方向・軸直角方向・角度方向に変位をさせることができます。

  • 溶接が可能な金属であればご希望に応じたサイズ、材質のベローズがカスタムオーダーすることが可能

  • 内外径の寸法に対して自由度が高いため、伸縮性やバネ性を自由に設定できる

  • 寸法精度が良いのでバネ定数や寿命性能などの特性について予測がしやすい

大型矩形溶接ベローズ

従来の矩形ベローズに比べ廉価版でありながら、誤差吸収の柔軟性と十分な強度を兼ね備え、金属材料にもこだわり、徹底的な最適化と装置機器との適合性を重視した設計を施した矩形ベローズ。
重量とコストを共に35%ダウンすることに成功しました。

2. 成形ベローズ(一般)

入江工研の成形ベローズは、外観がきれいで強度にも優れた独自の液圧成形加工により製作します。柔軟な伸縮や曲げ特性に気密性を兼ね備え、真空をはじめ過酷なモノづくり現場でその威力を発揮します。

  • 成形加工で製作するため、山の高さに柔軟に対応

  • 製作工程が少ないため、専用マシンにより大量生産が可能で品質の均一化が図れる

  • 溶接ベローズと比較して、製造コストが安価

3. 成形ベローズ(フレキシブルチューブ)

自由自在に曲げることができる装置の配管用を目的とした、比較的小口径のべローズです。入江工研では、真空配管の接続を標準仕様として気密性とコストバランスに優れた、ステンレス製のフレキシブルチューブを製作しています。

  • 自由自在(フレキシブル)に曲げることができ、容易に配管を接続することが可能

  • チューブの長さが容易に設定できることから、カスタム化に柔軟に対応

  • 圧力による変形が小さく、軽量のため簡単に曲げることができる

各種金属ベローズと特長のまとめ

4. 配管部品

入江工研では、ISO規格製品で取り扱いが非常に便利なNW-KFフランジの配管継手として、真空配管用VPシリーズ(10サイズ)と高圧配管用HPシリーズ(8サイズ)をラインナップしております。金属ベローズと一緒にご利用いただくことで、1ランク上の信頼と品質を兼ね備えた気密配管ユニットを設計することが可能です。

又、入江工研にてベローズと配管を直接溶接することにより、部品点数を減らしたコンパクトな気密配管ユニットを設計、製作することも可能です。

真空配管用部品:VPシリーズの特長
  • 接続用のボルトナットが不要でフランジのテーパー部にカップリングの内側のテーパー部をはめ込み、蝶ネジを回すことだけで容易に着脱可能

  • 加熱温度は150℃まで対応

  • Heリーク量は1×10-9Pa・m3/s以下

高圧配管用部品:HPシリーズの特長
  • 真空配管仕様に対して仕様圧力が0.49MPa以下

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