解決
解決のポイント
入江工研の提案により液化ヘリウムの低温を最大限に生かせ、生産性が上がった
容器・配管などの真空断熱性能の向上、継手部分の二重構造化、熱伝導率の高いアルミ製になったことで冷却効率が向上
気密性・伸縮性に長けた性能が継手ベローズにあるため、温度変化による伸縮にも対応でき、破損の危険性が低くなった
入江工研の真空断熱技術と熱伝導率の高いアルミ製装置で冷却効率がアップ
液化ヘリウムを使い続けても効率が悪い・・・、しかし液化窒素に戻しても注文に追いつかない・・・と悩んだ担当者は、以前に配管の見積もりを取ったことがある入江工研に相談した。すぐに入江工研の専門エンジニアが工場に来て、現状確認および課題のヒヤリングが行われた。
専門エンジニアは容器・配管の真空断熱性能の低さと継手部分が二重構造でないことが結露、ボイルオフの原因であると特定。液化ヘリウムを扱うには、もっと真空断熱性能が高く面積ロスの少ない、継手部分まで完全二重構造の装置が必要になることを指摘した。担当者は、継手部分の真空断熱は非常に難しく二重構造にできないと考えていたが、入江工研では可能だと聞き、その技術力に感嘆した。
その後、真空断熱性能が高い二重構造の継手ベローズ、トランスファーチューブ、フレキシブルチューブとチャンバーをアッセンブリした装置の提案を受け、I社は導入を決めた。
運転してみると結露やボイルオフがほとんど発生しなくなり、効果は明らかだった。さらに入江工研は熱伝導率を考慮し、導入した容器や配管はすべてアルミ製だった。これにより、熱伝導率が高くなり、半導体部品の冷却効率は大幅に向上。寒剤を液化ヘリウムに変更した効果をやっと顕在化させることができた。
入江工研の真空断熱技術、他社では真似できないアルミ製の気密接合技術により、当初目標に掲げていた生産性の効率アップを実現した。そして、増える受注にも十分に応えることが可能となり、売り上げの向上につながった。
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