入江工研株式会社

入江工研は1966年の創業以来、半世紀以上に渡ってお客様の製造現場で日々発生するのお困りごとに、ベローズ、バルブメーカーとして真摯に向き合ってきました。
入江工研の技術の源である金属ベローズをはじめ、半導体や液晶ディスプレイなどの製造装置には欠かすことのできない真空バルブや導入機などの技術は、様々な分野（高速鉄道、人工衛星、国家プロジェクト）で広く採用いただいております。
このページでは、このような技術に裏付けされた入江工研の技術を活用した、少しニッチで専門性の高い製品をいくつかご紹介させていただきます。
「こんな製品があったら・・・」「ほかのメーカーさんから断られました・・・」「ここまでの機能はいらないんですが・・・」といった声から、この製品たちは生まれました。
製造装置やベローズ周りでの課題がもしございましたら、ぜひ入江工研にご一報ください
ホームページやカタログでは紹介していない製品で、お客様のお役に立てることがあるかもしれません！

例えば、こんなお困りごとはございませんか？

【概要】
大型の実験施設で使用可能な金属溶接ベローズです。
長尺のベローズを製作する場合に課題となる垂直密着、水平たわみに対して、入江工研の技術を用いて調整を重ね、製品化にこぎつけました。
【特長】
・伸縮量が2000mm以上でも対応可能
・伸縮量だけでなく、お客様のご要望に応じたスペックで対応可能
・特殊材を用いた製品にも対応実績が多数
・凍結乾燥装置の搬送系、プラズマ実験装置のダイバータ試験機駆動用等にも使用実績あり
・耐久性と気密性を備え、圧力変動にも優れた金属ベローズ

【概要】
有機EL照明、CIS太陽電池、タッチパネル、ITO成膜等のフイルムに真空処理を行う装置で使用するバルブです。
【特長】
・バルブ内部に差動排気機構を組み込んだため、逆圧シールでも「チャンバ+バルブ2台」の構成で高真空に到達
・高真空が必要ないお客様には、差動排気機構なしのシンプルな構造
・シール材へのフィルムの貼り付きを極力は除した構造
・メンテナンス性にも配慮
・ダイレクトマウント機能の採用で、装置間距離の短縮を実現

【概要】
年々大型化するFPD製造装置などの、真空バルブ及びチャンバー間のアライメント調整に、手軽に使用できる取付誤差吸収用のベローズです。
【特長】
・G6基板サイズ以上に有効
・サイズの自由度が高く、お客様のご要望に沿った製品の提供が可能
・特殊材を用いた製品にも対応実績が多数
・溶接プロセスの改良により、短納期を実現
・当社従来品と比較し３５％の軽量化を達成

【概要】
半導体製造装置用の高真空ゲートバルブ。弁板の形状、使用されるOリングの形状、材質を見直すことで、従来品に比べ低パーティクル、低振動、高寿命を実現しました。
【特長】
・無摺動機構の採用で、低パーティクル化を実現・高速駆動対応で、タクトタイム短縮に貢献
・弁板シール部は独自の溝形状により、メタルコンタクトの防止などクリティカルなアプリケーション下でも、安定したシール性能を確保
・実績豊富なカム方式による駆動方法で、安定したシール性能を確保
・入江工研独自開発のベローズを搭載することで長寿命、高品質、信頼性を確保