入江工研株式会社

豊富な採用実績と特許が決め手に！難解な大口径ゲートバルブの製品化が見えた

プロジェクトが頓挫する中、メンバーの一人が以前展示会で説明を聞いたことがある、入江工研にコンタクトをとってみた。
対応した担当者は入江工研の大口径バルブソリューションは、FPD製造装置市場で培った様々なノウハウをもとに、改良を積み重ねてきたことを説明した上で、試作機の共同製作を提案してきた。

前回の反省もありO社内でも慎重に検討を行うと同時に、入江工研の大口径バルブについての情報を集めた。すると、FPD市場だけでなく、ここ最近では有機ELパネルの製造現場でも広く採用されており、独自の「差圧キャンセル機構」によりハイスペックでタフなコンディションのプロセスでも使用されていることを知ったO社は、試作機の共同設計を行うことになった。
また、この大口径バルブは特許を取得しているため、完成品に組み込むことで競争力のある開発が可能になることも、共同開発を進める決め手となった。

実際に開発を進めていくと、国内工場にいるバルブのスペシャリストが大口径ならではの製品化における課題や、シールの難しさなどを共有し、両社のノウハウと合わせて予定よりも早い期間で試作機が完成した。
早速フィールドでのテスト計測を行ったところ、今までの試作機に比べ、リークやパーティクル発生率を30%以上改善することができた。

両社はこの結果をもとに細かなチューニングを継続することで、競争力のある大口径装置の製品化にめどをつけることができた。