高精度回転導入機（IRP)
高精度回転導入機（IRP)
特徴
1. 回転位置決め精度（無負荷時）が 0.5°の高精度回転導入機です。
2.駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、高真空の領域で使用可能です。
3.ゼロ位置設定が任意で設定可能です。
4.回転ロック機構付き。開度が任意に設定可能です。
2.駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、高真空の領域で使用可能です。
3.ゼロ位置設定が任意で設定可能です。
4.回転ロック機構付き。開度が任意に設定可能です。
仕様
| 型式 | IRP-70 |
|---|---|
| 接続フランジ | CF70 |
| 駆動方法 | 手動 |
| 回転位置決め精度 | 0.5°±0.05° |
| 回転寿命 | 100,000回 |
| リーク量 | 1×10-10Pa・m3／s以下 |
| ベーキング温度 | 120℃以下 |
| 使用主材料 | SUS304 |
| ベローズ材質 | SUS316L |
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個別に検討させて頂きます。
特定のご要望がある場合、お客様の仕様詳細をお聞かせ下さい。
様々なご使用に対して最適な設計でご提案させていただきますので、お気軽にご相談下さい。
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