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コンパクト回転導入機(IRC)

コンパクト回転導入機(IRC)


             

特徴

1. 入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、接続フランジ CF34、CF70 を規格化しました。
2. 駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、高真空の領域で使用可能です。
※超高真空対応もオプションとしてご用意しております。
3.機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、小型、軽量になっています。
4.回転ロック機構付き。開度が任意に設定可能です。

仕様








※左右にフリックしてご覧いただけます。



 
型式 IRC-34 IRC-70
接続フランジ CF34 CF70
駆動方法 手動
回転位置決め精度 2°±0.5
回転寿命 100,000回
リーク量 1×10-10Pa・m3/s以下
ベーキング温度 150℃以下
使用主材料 SUS304
ベローズ材質 SUS316L
主要寸法 A 70 70
B 89.4 125.0
C 7.0 9.5
D 20 25
φE(f6) 6 8
F 5.0 6.8
φG 18 26
φH 27.2 38.0
φI 31.8 41.6
製品図面
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