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磁気結合式回転導入機(MFR)

磁気結合式回転導入機(MFR)


             

特徴

1. 真空内外ともにサマリウム-コバルト磁石を使用しているため、高トルクが伝達でき、ロスト
モーションも少なく設計しております。
2. 真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止しており、ガス放出量を低減しています。
3.磁石を取り付けたままベーキングができます。
4.ベアリングを交換することで、半永久的に使用できます。
5.オプションのモーター取付金具仕様にした場合、自動運転が可能です。

仕様








※左右にフリックしてご覧いただけます。



 
型式 MFR-34 MFR-70
接続フランジ CF34 CF70
駆動方法 手動(モーター駆動対応可)
回転範囲 360°
リーク量 1×10-9Pa・m3/s以下
ベーキング温度 120℃(磁石付)
使用主材料 本体:SUS304・ハンドル:アルミニウム
主要寸法 A 50 50
B 100 165
C 34.7 55
D 12.0 12.5
E 20 20
φF-0.01 -0.02 6 10
G 5 9
φH 18 40
φI 38 73
φJ 40 73
製品図面
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