ベローズ式直進導入機 自動タイプ（ILD-A)
ベローズ式直進導入機 自動タイプ（ILD-A)
特徴
1. 駆動部シールに入江工研製の溶接ベローズを採用しておりますので、超高真空の領域で
使用可能です。
2. ストローク100㎜、150㎜を各サイズ（CF70、114、152、203）ラインナップ致しました。
3. モーターはリバーシブルモーターを標準採用。（ステッピングモーター等は別途御相談下さい。）
4. リミットスイッチを標準で装備。位置検出はポテンショメーターをオプションでご用意して
おります。
使用可能です。
2. ストローク100㎜、150㎜を各サイズ（CF70、114、152、203）ラインナップ致しました。
3. モーターはリバーシブルモーターを標準採用。（ステッピングモーター等は別途御相談下さい。）
4. リミットスイッチを標準で装備。位置検出はポテンショメーターをオプションでご用意して
おります。
仕様
| 型式 | ILD-70A | ILD-114A | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式末尾 | 50 | 100 | 150 | 50 | 100 | 150 | |
| ストローク(mm) | 50 | 100 | 150 | 50 | 100 | 150 | |
| 接続フランジ | CF70 | CF114 | |||||
| 駆動方法 | モーター駆動 | ||||||
| リーク量 | 1×10-10Pa・m3／s以下 | ||||||
| ベーキング温度 | - | ||||||
| 使用主材料 | SUS304 | ||||||
| ベローズ材質 | SUS316L | ||||||
| 主要寸法 | A | ＊ | 50~150 | 50~200 | ＊ | 50~150 | 50~200 |
| B | ＊ | 334 | 459 | ＊ | 345 | 465 | |
| C | ＊ | 96 | ＊ | 101 | |||
| D | ＊ | 152 | ＊ | 165 | |||
| φE | ＊ | 38 | ＊ | 48 | |||
| φF(g6) | ＊ | 12 | ＊ | 16 | |||
| G | ＊ | 20 | ＊ | 35 | |||
| H | ＊ | 7.0 | ＊ | 12.5 | |||
| φI(h7) | ＊ | 8 | ＊ | 14 | |||
| 製品図面 ダウンロード |
|||||||
| 型式 | ILD-152A | ILD-203A | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式末尾 | 100 | 150 | 200 | 100 | 150 | 200 | |
| ストローク(mm) | 100 | ＊150 | ＊200 | 100 | ＊150 | ＊200 | |
| 接続フランジ | CF152 | CF203 | |||||
| 駆動方法 | モーター駆動 | ||||||
| リーク量 | 1×10-10Pa・m3／s以下 | ||||||
| ベーキング温度 | - | ||||||
| 使用主材料 | SUS304 | ||||||
| ベローズ材質 | SUS316L | ||||||
| 主要寸法 | A | 50~150 | ＊ | ＊ | 50~150 | ＊ | ＊ |
| B | 330 | ＊ | ＊ | 330 | ＊ | ＊ | |
| C | 107 | ＊ | ＊ | 107 | ＊ | ＊ | |
| D | 170 | ＊ | ＊ | 170 | ＊ | ＊ | |
| φE | 60 | ＊ | ＊ | 60 | ＊ | ＊ | |
| φF(g6) | 24 | ＊ | ＊ | 24 | ＊ | ＊ | |
| G | 35 | ＊ | ＊ | 35 | ＊ | ＊ | |
| H | 20.0 | ＊ | ＊ | 20.0 | ＊ | ＊ | |
| φI(h7) | 22 | ＊ | ＊ | 22 | ＊ | ＊ | |
| 製品図面 ダウンロード |
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規格品では仕様を満足できない場合にも
個別に検討させて頂きます。
特定のご要望がある場合、お客様の仕様詳細をお聞かせ下さい。
様々なご使用に対して最適な設計でご提案させていただきますので、お気軽にご相談下さい。
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