MARINAは安定したシ-ル性能を持ち、シンプルな構造、コンパクトなデザイン丸型・振り子式バルブです。
半導体製造装置から、大型FPD、有機EL製造装置まで対応致します。
口径 | 型式 | A | B | C | D | E |
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250 | M-250J(S)-2(3) | 460 | 655 | 100 | 134.5 | 250 |
320 | M-320J(S)-2(3) | 555 | 790 | 120 | 129.5 | 320 |
400 | M-400J(S)-2(3) | 630 | 944 | 135 | 129 | 400 |
開口径 | ~φ400mm |
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使用圧力範囲 | 大気圧~5.0×10-6Pa |
ヘリウムリーク量 | 本 体:1×10-10Pa・m3/s以下 |
シール版:5×10-10Pa・m3/s以下 | |
開動作時の差圧 | 1000Pa以下 |
寿命 | Lock/Free 動作 100万回 Open/Close 動作 100万回 |
材質 | 弁箱ユニット:AC4C-T6 |
シール板:A5052 | |
ベローズ:SUS316L | |
Oリング:FKM(Viton)® | |
取付姿勢 | シール面が『天』又は『地』 |
ベーキング温度 | 弁箱:Max120℃ 駆動部:Max60℃ |
エアー供給圧 | Lock/Free用ポート 0.5±0.05MPa Open/Close用ポート 0.5±0.05MPa |
エアー配管径 | Lock/Free 6mm Open/Close 6mm |
動作時間 | Lock/Free 約1.0s Open/Close 約3.0s |