チャンバーchamber
入江工研では、チャンバー内部が超高真空から大気圧やプラズマ環境、希薄な活性ガス環境などの特殊な環境になるチャンバーの製作を仕切りバルブ込みで承っております。
用途
- 半導体製造装置
- FPD製造装置
- 太陽電池パネル製造装置
- 有機ELパネル製造装置
- グローブBOX
- 理化学実験用装置
- その他(お問い合わせ下さい)
材質
- SUS304、SUS316L
- A5052
- その他(お問い合わせ下さい)
表面処理
- バフ研磨、電解研磨、複合電解研磨
- アルマイト処理
- その他(お問い合わせ下さい)
架台
チャンバーの架台も合わせて製作いたします。
お問い合わせ
こちらからお気軽にご相談下さい。