型式 | IRP-70 |
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接続フランジ | CF70 |
駆動方法 | 手動 |
回転位置決め精度 | 0.5°±0.05° |
回転寿命 | 100,000回 |
リーク量 | 1×10-10Pa・m3/s以下 |
ベーキング温度 | 120℃以下 |
使用主材料 | SUS304 |
ベローズ材質 | SUS316L |
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